(4) Nyşana material. Nyşana material, umuman, nyşana material talaplara laýyk gelýänçä we plýonka gatlagyny almak üçin proses parametrleriniň berk gözegçiligi talap edilip bilinýänçä, püskürtme örtüginiň açarydyr. Nyşana materialdaky garyndylar we ýüzdäki oksidler we beýleki hapa maddalar plýonkanyň hapalanmagynyň möhüm çeşmesidir, şonuň üçin ýokary arassalyk gatlagyny almak üçin, ýokary arassalyk nyşana materialyny ulanmakdan başga-da, her püskürtmede nyşananyň ýüzüni arassalamak, oksid gatlagynyň nyşana ýüzüni aýyrmak üçin öňünden püskürtme üçin ilkinji nyşana bolmaly.
(5) Fon wakuumy. Fon wakuumynyň derejesi ulgamdaky galyndy gazyň mukdaryny gönüden-göni görkezýär we galyndy gaz hem plýonka gatlagynyň hapalanmagynyň möhüm çeşmesidir, şonuň üçin fon wakuumyny mümkin boldugyça gowulandyrmaly. Hapalanmagyň başga bir meselesi, ýagyň diffuziýa nasosynyň ýaga gaýdyp gelmegidir, bu bolsa membranada uglerodyň goşulmagyna getirýär, membrananyň has berk talaplary degişli çäreleri görmeli ýa-da ýagsyz ýokary wakuum nasos ulgamyny ulanmaly.
(6) püskürýän howa basyşy. Iş howa basyşy membrananyň çökme tizligine gönüden-göni täsir edýär.
Mundan başga-da, elektrik meýdanynda, atmosferada, nyşana materialynda, substrat temperaturasynda we membrananyň arasyndaky özara täsir parametrleriniň geometrik gurluşynda dürli püskürtme enjamlarynyň bolmagy sebäpli, talaplary döretmek üçin iň gowy proses şertlerini kesgitleýän proses parametrleri boýunça tejribe geçirmek zerurdyr.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 5-nji ýanwary