ফিল্ম গঠনে প্রভাব বিস্তারকারী উপাদানসমূহ অধ্যায় ২

(4) টার্গেট উপাদান। স্পাটারিং কোটিং-এর জন্য টার্গেট উপাদানই মূল চাবিকাঠি। সাধারণত, যতক্ষণ টার্গেট উপাদানটি প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে এবং প্রসেস প্যারামিটারগুলির কঠোর নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে ফিল্ম স্তর পাওয়া যায়। টার্গেট উপাদানের মধ্যে থাকা অশুদ্ধি এবং পৃষ্ঠের অক্সাইড ও অন্যান্য অশুদ্ধ পদার্থ ফিল্ম দূষণের একটি গুরুত্বপূর্ণ উৎস। তাই একটি উচ্চ বিশুদ্ধতার স্তর পাওয়ার জন্য, উচ্চ বিশুদ্ধতার টার্গেট উপাদান ব্যবহারের পাশাপাশি, প্রতিটি স্পাটারিং-এর আগে টার্গেটের পৃষ্ঠ পরিষ্কার করার জন্য এবং টার্গেটের পৃষ্ঠের অক্সাইড স্তর অপসারণ করার জন্য প্রি-স্পাটারিং করা উচিত।

(5) ব্যাকগ্রাউন্ড ভ্যাকুয়াম। ব্যাকগ্রাউন্ড ভ্যাকুয়ামের মাত্রা সিস্টেমে অবশিষ্ট গ্যাসের পরিমাণকে সরাসরি প্রতিফলিত করে, এবং অবশিষ্ট গ্যাস ফিল্ম স্তরের দূষণের একটি গুরুত্বপূর্ণ উৎস, তাই ব্যাকগ্রাউন্ড ভ্যাকুয়াম যতটা সম্ভব উন্নত করা উচিত। দূষণের আরেকটি সমস্যা হলো অয়েল ডিফিউশন পাম্পের তেল ফিরে আসা, যার ফলে মেমব্রেনে কার্বন ডোপিং হয়, মেমব্রেনের জন্য আরও কঠোর প্রয়োজনীয়তা থাকলে উপযুক্ত ব্যবস্থা নেওয়া উচিত অথবা তেল-মুক্ত উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম ব্যবহার করা উচিত।
(6) স্পাটারিং বায়ুচাপ। কার্যকরী বায়ুচাপ সরাসরি মেমব্রেনের জমা হওয়ার হারকে প্রভাবিত করে।
এছাড়াও, বিভিন্ন স্পাটারিং ডিভাইসের ক্ষেত্রে বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র, পরিবেশ, টার্গেট উপাদান, সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা এবং জ্যামিতিক কাঠামোর মতো প্যারামিটারগুলোর পারস্পরিক মিথস্ক্রিয়ার মাধ্যমে প্রয়োজনীয় শর্ত পূরণের জন্য, প্রক্রিয়ার প্যারামিটারগুলোর উপর পরীক্ষা-নিরীক্ষা করা প্রয়োজন, যার মাধ্যমে সর্বোত্তম প্রক্রিয়াকরণের শর্তাবলী নির্ধারণ করা যায়।

–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া