(4) Ohun èlò tí a fẹ́. Ohun èlò tí a fẹ́ ni kọ́kọ́rọ́ sí ìbòrí ìfọ́, ní gbogbogbòò, níwọ̀n ìgbà tí ohun èlò tí a fẹ́ bá àwọn ohun tí a fẹ́ mu, a sì lè nílò ìṣàkóso tó lágbára lórí àwọn ìlànà iṣẹ́ láti gba ìpele fíìmù náà. Àwọn ohun àìmọ́ nínú ohun èlò tí a fẹ́ àti àwọn oxides ojú ilẹ̀ àti àwọn ohun èlò míràn tí kò ní ìdọ̀tí jẹ́ orísun pàtàkì fún ìbàjẹ́ fíìmù, nítorí náà láti lè gba ìpele mímọ́ gíga, ní àfikún sí lílo ohun èlò tí a fẹ́, nínú ìfọ́ kọ̀ọ̀kan yẹ kí ó jẹ́ ibi àkọ́kọ́ tí a fẹ́ kí a ti fọ́ ìfọ́ láti lè fọ ojú ibi tí a fẹ́, láti yọ ojú ibi tí a fẹ́ fọ́ ìpele oxide náà kúrò.
(5) Ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ ẹ̀yìn. Ìpele ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ ẹ̀yìn fi iye ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ tó wà nínú ètò náà hàn ní tààrà, àti pé ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ tún jẹ́ orísun pàtàkì fún ìbàjẹ́ àwọ̀ fíìmù náà, nítorí náà, ó yẹ kí a mú ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ ẹ̀yìn sunwọ̀n sí i bí ó ti ṣeé ṣe tó. Lórí ìbàjẹ́ ìṣòro mìíràn, a ó fi ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ epo padà sí epo náà, èyí tí yóò yọrí sí lílo ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ nínú àwọ̀ fíìmù náà, àwọn ohun tí ó le koko jù fún àwọ̀ fíìmù náà gbọ́dọ̀ gbé àwọn ìgbésẹ̀ tó yẹ tàbí lílo ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ gíga tí kò ní epo.
(6) titẹ afẹfẹ ti n jade. Titẹ afẹfẹ ti n ṣiṣẹ ni ipa taara lori oṣuwọn gbigbe silẹ ti awo naa.
Ni afikun, nitori awọn ẹrọ sputtering oriṣiriṣi ni aaye ina, afẹfẹ, ohun elo afojusun, iwọn otutu substrate ati eto jiometirika ti awọn paramita ti ibaraenisepo laarin awo lati ṣe awọn ibeere, o jẹ dandan lati ṣe awọn idanwo lori awọn paramita ti ilana naa, lati eyiti awọn ipo ilana ti o dara julọ wa.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Jan-05-2024