የፊልም ምስረታ ላይ ተጽዕኖ የሚያሳድሩ ምክንያቶች ምዕራፍ 2

(4) ዒላማ ቁሳቁስ። ዒላማው ቁሳቁስ መስፈርቶቹን እስካሟላ ድረስ በአጠቃላይ የስፕተር ሽፋን ቁልፍ ነው፣ እና የፊልም ንብርብር ለማግኘት የሂደቱን መለኪያዎች ጥብቅ ቁጥጥር ሊያስፈልግ ይችላል። በዒላማው ቁሳቁስ እና በገጽታ ኦክሳይድ እና በሌሎች ርኩስ ንጥረ ነገሮች ውስጥ ያሉ እድፍዎች የፊልም ብክለት አስፈላጊ ምንጭ ናቸው፣ ስለዚህ ከፍተኛ ንፅህና ኢላማ ቁሳቁስ ከመጠቀም በተጨማሪ ከፍተኛ ንፅህና ንብርብር ለማግኘት በእያንዳንዱ ስፕተር ውስጥ የዒላማውን ገጽ ለማጽዳት፣ የኦክሳይድ ንብርብር ኢላማ ገጽን ለማስወገድ የመጀመሪያው ቅድመ-ስፕተር መደረግ አለበት።

(5) የጀርባ ቫክዩም። የጀርባ ቫክዩም ደረጃ በስርዓቱ ውስጥ ያለውን የተረፈ ጋዝ መጠን በቀጥታ ያንፀባርቃል፣ እና የተረፈ ጋዝ የፊልም ንብርብር የብክለት ምንጭም ነው፣ ስለዚህ የጀርባ ቫክዩም በተቻለ መጠን መሻሻል አለበት። በሌላ ችግር ብክለት ላይ የዘይት ስርጭት ፓምፑ ወደ ዘይቱ መመለስ ሲሆን ይህም በሽፋኑ ውስጥ የካርቦን ዶፒንግ እንዲፈጠር ያደርጋል፣ የሽፋኑ የበለጠ ጥብቅ መስፈርቶች ተገቢ እርምጃዎችን መውሰድ ወይም ዘይት የሌለው ከፍተኛ ቫክዩም ፓምፕ ሲስተም መጠቀም አለባቸው።
(6) የአየር ግፊትን የሚረጭ። የሚሠራው የአየር ግፊት በቀጥታ የሽፋኑን የመቀመጫ መጠን ይነካል።
በተጨማሪም፣ በኤሌክትሪክ መስክ፣ በከባቢ አየር፣ በዒላማ ቁሳቁስ፣ በንጣፍ ሙቀት እና በጂኦሜትሪክ መዋቅር ውስጥ ባሉ የተለያዩ የስፖንተሪንግ መሳሪያዎች ምክንያት፣ መስፈርቶችን ለማምረት በሽፋን መካከል ያለውን መስተጋብር መለኪያዎች፣ በሂደቱ መለኪያዎች ላይ ሙከራዎችን ማድረግ አስፈላጊ ነው፣ ይህም ከየትኛውም የሂደት ሁኔታዎች የተሻለ ነው።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ