(4) Маводи мақсаднок. Маводи мақсаднок калиди пӯшиши пошидани маводи табиӣ аст, умуман, ба шарте ки маводи мақсаднок ба талабот ҷавобгӯ бошад ва назорати қатъии параметрҳои раванд барои ба даст овардани қабати плёнка лозим бошад. Ифлосӣ дар маводи мақсаднок ва оксидҳои сатҳӣ ва дигар моддаҳои нопок манбаи муҳими ифлосшавии плёнка мебошанд, аз ин рӯ, барои ба даст овардани қабати тозагии баланд, илова бар истифодаи маводи тозагии баланд, дар ҳар як пошидани маводи мақсаднок бояд аввалин ҳадафи пешакӣ пошидани маводи табиӣ бошад, то сатҳи ҳадафро тоза кунад ва сатҳи ҳадафи қабати оксидро тоза кунад.
(5) Вакууми замина. Сатҳи вакууми замина мустақиман миқдори гази боқимондаро дар система инъикос мекунад ва гази боқимонда низ манбаи муҳими ифлосшавии қабати плёнка аст, аз ин рӯ вакууми замина бояд то ҳадди имкон беҳтар карда шавад. Дар бораи ифлосшавии дигар мушкилоти насоси диффузияи равған ба равған бармегардад, ки боиси допинг дар мембрана мегардад, талаботи сахттари мембрана бояд чораҳои мувофиқ ё истифодаи системаи насосии вакуумии бе равғанро андешад.
(6) фишори ҳавои пошидашаванда. Фишори ҳавои корӣ мустақиман ба суръати таҳшиншавии мембрана таъсир мерасонад.
Илова бар ин, аз сабаби мавҷудияти дастгоҳҳои гуногуни пошидани майдони барқ, атмосфера, маводи мақсаднок, ҳарорати субстрат ва сохтори геометрии параметрҳои таъсири мутақобилаи мембрана барои ба вуҷуд овардани талабот, гузаронидани таҷрибаҳо оид ба параметрҳои раванд, ки аз онҳо беҳтарин шароитҳои раванд фароҳам оварда шудаанд, зарур аст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: Ян-05-2024