(4) Ihe e ji ebu ihe. Ihe e ji ebu ihe bụ isi ihe na-eme ka ihe mkpuchi ahụ gbapụta, n'ozuzu ya, ma ọ bụrụhaala na ihe e ji ebu ihe ruru ihe achọrọ, a pụkwara ịchọ njikwa siri ike nke paramita usoro iji nweta oyi akwa ihe nkiri ahụ. Ihe ndị na-adịghị ọcha dị na ihe e ji ebu ihe na ihe ndị ọzọ na-adịghị ọcha bụ isi iyi dị mkpa nke mmetọ ihe nkiri ahụ, yabụ iji nweta oyi akwa dị ọcha dị elu, na mgbakwunye na iji ihe e ji ebu ihe dị ọcha dị elu, na sputtering ọ bụla kwesịrị ịbụ ihe mbụ e ji ebu ihe tupu sputtering iji hichaa elu ihe e ji ebu ihe ahụ, iji wepụ elu ihe e ji ebu ihe nke oyi akwa oxide ahụ.
(5) Vacuum dị n'azụ. Ọkwa vacuum dị n'azụ na-egosipụta kpọmkwem ọnụọgụ gas fọdụrụ na sistemụ ahụ, gas fọdụrụ bụkwa isi iyi dị mkpa nke mmetọ nke oyi akwa ihe nkiri ahụ, yabụ a ga-emeziwanye vacuum dị n'azụ ruo n'ókè o kwere mee. N'ihe gbasara mmetọ nke nsogbu ọzọ, a ga-alaghachi na mgbapụta mgbasa mmanụ na mmanụ ahụ, nke na-ebute carbon doping na membrane ahụ, ihe siri ike karịa nke membrane ahụ kwesịrị ime ihe kwesịrị ekwesị ma ọ bụ iji sistemụ mgbapụta vacuum dị elu na-enweghị mmanụ.
(6) nrụgide ikuku na-agbapụta. Nrụgide ikuku na-arụ ọrụ na-emetụta kpọmkwem ọnụego ntinye nke akpụkpọ ahụ.
Na mgbakwunye, n'ihi ngwaọrụ sputtering dị iche iche na mpaghara eletriki, ikuku, ihe mgbaru ọsọ, okpomọkụ substrate na nhazi geometric nke paramita nke mmekọrịta dị n'etiti akpụkpọ ahụ iji mepụta ihe achọrọ, ọ dị mkpa ime nnwale na paramita nke usoro ahụ, site na nke ọnọdụ usoro kacha mma.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua
Oge ozi: Jenụwarị-05-2024