(4) Нысаналы материал. Нысаналы материал бүріккіш жабынның кілті болып табылады, жалпы алғанда, нысаналы материал талаптарға сай болған жағдайда және пленка қабатын алу үшін процесс параметрлерін қатаң бақылау қажет болуы мүмкін. Нысаналы материалдағы қоспалар және беткі оксидтер мен басқа да лас заттар пленканың ластануының маңызды көзі болып табылады, сондықтан жоғары тазалық қабатын алу үшін, жоғары тазалықтағы нысаналы материалды пайдаланумен қатар, әрбір бүріккіште нысананың бетін тазалау, оксид қабатының нысаналы бетін алып тастау үшін алдын ала бүріккіштеу үшін бірінші нысана болуы керек.
(5) Фондық вакуум. Фондық вакуум деңгейі жүйедегі қалдық газдың мөлшерін тікелей көрсетеді, ал қалдық газ пленка қабатының ластануының маңызды көзі болып табылады, сондықтан фондық вакуумды мүмкіндігінше жақсарту керек. Ластанудың тағы бір мәселесі - май диффузиялық сорғысының майға қайта оралуы, нәтижесінде мембранада көміртегі қоспасы пайда болады, мембрананың қатаң талаптары тиісті шараларды қабылдауы немесе майсыз жоғары вакуумды сорғы жүйесін қолдануы керек.
(6) шашыраңқы ауа қысымы. Жұмыс ауа қысымы мембрананың тұндыру жылдамдығына тікелей әсер етеді.
Сонымен қатар, электр өрісіндегі, атмосферадағы, нысана материалындағы, субстрат температурасындағы және геометриялық құрылымдағы әртүрлі шашырату құрылғыларына байланысты мембрана арасындағы өзара әрекеттесу параметрлері талаптарды тудыру үшін ең жақсы процесс жағдайларын анықтайтын процестің параметрлері бойынша тәжірибелер жүргізу қажет.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 5 қаңтар