(4) Mea fa'atatau. O mea fa'atatau o le ki lea i le ufiufi sputtering, i se tulaga lautele, pe afai e ausia e le mea fa'atatau mana'oga, ma e ono mana'omia le pulea lelei o fa'asologa o le faagasologa ina ia maua ai le vaega o le ata tifaga. O mea leaga i totonu o le mea fa'atatau ma oxides o luga ma isi mea leaga o se puna taua o le fa'aleagaina o le ata tifaga, o lea ina ia maua ai se vaega maualuga le mama, e fa'aopoopo i le fa'aogaina o mea fa'atatau maualuga le mama, i sputtering ta'itasi e tatau ona avea ma sini muamua mo le sputtering muamua ina ia fa'amamāina le luga o le sini, e aveese ai le luga o le sini o le vaega oxide.
(5) Vavega tua. O le maualuga o le vavega tua e atagia sa'o ai le aofa'i o le kesi o totoe i totonu o le faiga, ma o le kesi o totoe o se puna taua foi lea o le fa'aleagaina o le vaega o le ata tifaga, o lea e tatau ai ona fa'aleleia atili le vavega tua i le mea e mafai ai. I luga o le fa'aleagaina o le isi fa'afitauli o le pamu fa'asalalauina o le suau'u i tua atu o le suau'u, ma mafua ai ona fa'aopoopoina le kaponi i totonu o le membrane, o mana'oga sili atu ona faigata o le membrane e tatau ona faia ni fuafuaga talafeagai po'o le fa'aogaina o se faiga pamu vavega maualuga e leai se suau'u.
(6) le mamafa o le ea e sosolo solo. O le mamafa o le ea galue e aʻafia saʻo ai le fua faatatau o le teuina o le membrane.
E le gata i lea, ona o le eseesega o masini sputtering i le eletise, siosiomaga, mea faʻatatau, vevela o le substrate ma le fausaga geometric o le fegalegaleaiga i le va o le membrane e maua ai manaʻoga, e tatau ona faia ni faʻataʻitaʻiga i luga o le faʻasologa o le faagasologa, mai lea tulaga sili ona lelei o le faagasologa.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Ianuari-05-2024