(4) Materiał docelowy. Materiał docelowy jest kluczowy w procesie napylania, o ile spełnia on wymagania. Do uzyskania warstwy emulsyjnej może być wymagana ścisła kontrola parametrów procesu. Zanieczyszczenia w materiale docelowym, tlenki powierzchniowe i inne substancje zanieczyszczające stanowią istotne źródło zanieczyszczeń. Dlatego, aby uzyskać warstwę o wysokiej czystości, oprócz zastosowania materiału docelowego o wysokiej czystości, w każdym procesie napylania, pierwszym celem do wstępnego napylania powinno być oczyszczenie powierzchni docelowej i usunięcie z niej warstwy tlenków.
(5) Próżnia tła. Poziom próżni tła bezpośrednio odzwierciedla ilość gazu resztkowego w układzie, a gaz resztkowy jest również istotnym źródłem zanieczyszczenia warstwy folii, dlatego należy jak najbardziej poprawić próżnię tła. W przypadku zanieczyszczenia, kolejnym problemem jest pompa dyfuzyjna oleju, która odprowadza go z powrotem do oleju, co powoduje domieszkowanie membrany węglem. W przypadku bardziej rygorystycznych wymagań membrany należy podjąć odpowiednie środki lub zastosować bezolejowy system pompowania o wysokiej próżni.
(6) ciśnienie powietrza rozpylającego. Ciśnienie robocze powietrza ma bezpośredni wpływ na szybkość osadzania membrany.
Ponadto, ze względu na różne urządzenia rozpylające, różne pole elektryczne, atmosferę, materiał docelowy, temperaturę podłoża i strukturę geometryczną parametrów interakcji między membraną a wymaganiami, konieczne jest przeprowadzenie eksperymentów dotyczących parametrów procesu, z których można uzyskać najlepsze warunki procesu.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 05-01-2024