(४) टार्गेट मटेरियल. स्पटरिंग कोटिंगमध्ये टार्गेट मटेरियल हा मुख्य घटक असतो. सर्वसाधारणपणे, जोपर्यंत टार्गेट मटेरियल आवश्यकता पूर्ण करते आणि प्रक्रियेच्या पॅरामीटर्सवर कठोर नियंत्रण ठेवले जाते, तोपर्यंत फिल्मचा थर मिळवणे शक्य होते. टार्गेट मटेरियलमधील अशुद्धता, पृष्ठभागावरील ऑक्साईड आणि इतर अशुद्ध पदार्थ हे फिल्म दूषित होण्याचे महत्त्वाचे स्रोत आहेत. त्यामुळे, उच्च शुद्धतेचा थर मिळवण्यासाठी, उच्च शुद्धतेचे टार्गेट मटेरियल वापरण्याव्यतिरिक्त, प्रत्येक स्पटरिंगमध्ये टार्गेटचा पृष्ठभाग स्वच्छ करण्यासाठी आणि त्यावरील ऑक्साईडचा थर काढून टाकण्यासाठी प्रथम टार्गेटचे प्री-स्पटरिंग केले पाहिजे.
(5) पार्श्वभूमीतील निर्वात पोकळी. पार्श्वभूमीतील निर्वात पोकळीची पातळी प्रणालीमधील अवशिष्ट वायूचे प्रमाण थेट दर्शवते, आणि अवशिष्ट वायू हा फिल्म लेयरच्या प्रदूषणाचा एक महत्त्वाचा स्रोत देखील आहे, म्हणून पार्श्वभूमीतील निर्वात पोकळी शक्य तितकी सुधारली पाहिजे. प्रदूषणाची दुसरी समस्या म्हणजे ऑइल डिफ्यूजन पंपाद्वारे तेल परत येणे, ज्यामुळे मेम्ब्रेनमध्ये कार्बन डोपिंग होते. मेम्ब्रेनच्या अधिक कठोर आवश्यकतांसाठी योग्य उपाययोजना कराव्यात किंवा तेल-मुक्त उच्च-निर्वात पंपिंग प्रणालीचा वापर करावा.
(6) स्पटरिंग हवेचा दाब. कार्यरत हवेच्या दाबाचा पडद्याच्या निक्षेपण दरावर थेट परिणाम होतो.
याव्यतिरिक्त, वेगवेगळ्या स्पटरिंग उपकरणांमधील विद्युत क्षेत्र, वातावरण, लक्ष्य सामग्री, सब्सट्रेट तापमान आणि भौमितिक रचना यांसारख्या पॅरामीटर्सच्या परस्परक्रियेमुळे पडद्याच्या निर्मितीसाठी आवश्यक असलेल्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी, प्रक्रियेच्या पॅरामीटर्सवर प्रयोग करणे आवश्यक आहे, ज्यामधून सर्वोत्तम प्रक्रिया परिस्थिती शोधता येते.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: ०५-जानेवारी-२०२४