(4) مادة الهدف. تُعدّ مادة الهدف عنصرًا أساسيًا في عملية الترسيب بالرش، وعمومًا، طالما استوفت مادة الهدف المتطلبات، يُمكن تطبيق تحكم دقيق في معايير العملية للحصول على طبقة رقيقة. تُشكّل الشوائب الموجودة في مادة الهدف وأكاسيد السطح وغيرها من المواد غير النقية مصدرًا هامًا لتلوث الطبقة الرقيقة، لذا، وللحصول على طبقة عالية النقاء، بالإضافة إلى استخدام مادة هدف عالية النقاء، يجب في كل عملية رش أن تُجرى عملية رش أولية للهدف لتنظيف سطحه وإزالة طبقة الأكسيد السطحية.
(5) الفراغ الأساسي. يعكس مستوى الفراغ الأساسي مباشرةً كمية الغاز المتبقي في النظام، ويُعدّ الغاز المتبقي مصدرًا هامًا لتلوث طبقة الغشاء، لذا يجب تحسين مستوى الفراغ الأساسي قدر الإمكان. أما بالنسبة للتلوث، فتتمثل مشكلة أخرى في عودة الزيت من مضخة الانتشار إلى الزيت، مما يؤدي إلى تكوّن الكربون في الغشاء. ولتحقيق متطلبات أكثر صرامة للغشاء، يجب اتخاذ تدابير مناسبة أو استخدام نظام ضخ عالي الفراغ خالٍ من الزيت.
(6) ضغط هواء الرش. يؤثر ضغط هواء التشغيل بشكل مباشر على معدل ترسيب الغشاء.
بالإضافة إلى ذلك، ونظرًا لاختلاف أجهزة الرش في المجال الكهربائي، والجو، ومادة الهدف، ودرجة حرارة الركيزة، والبنية الهندسية لمعلمات التفاعل بين الغشاء لإنتاج المتطلبات، فمن الضروري إجراء تجارب على معلمات العملية، والتي من خلالها يتم تحديد أفضل ظروف العملية.
– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 5 يناير 2024