(4) Максаттуу материал. Максаттуу материал чачыратуучу каптоо үчүн, жалпысынан алганда, максаттуу материал талаптарга жооп берген шартта жана пленка катмарын алуу үчүн процесстин параметрлерин катуу көзөмөлдөө талап кылынышы мүмкүн болгон шартта, максаттуу материалдагы аралашмалар жана беттик оксиддер жана башка таза эмес заттар пленканын булганышынын маанилүү булагы болуп саналат, андыктан жогорку тазалыктагы катмарды алуу үчүн, жогорку тазалыктагы максаттуу материалды колдонуудан тышкары, ар бир чачыратууда максаттуу бетти тазалоо, кычкыл катмарынын максаттуу бетин алып салуу үчүн алдын ала чачыратуунун биринчи максаты болушу керек.
(5) Фондук вакуум. Фондук вакуумдун деңгээли системадагы калдык газдын көлөмүн түздөн-түз чагылдырат, ошондой эле калдык газ пленка катмарынын булганышынын маанилүү булагы болуп саналат, андыктан фондук вакуумду мүмкүн болушунча жакшыртуу керек. Булгануунун дагы бир көйгөйү - майдын диффузиялык насосу майга кайтып келип, мембранада көмүртек кошулмаларынын пайда болушу, мембрананын катуу талаптары тиешелүү чараларды көрүшү же майсыз жогорку вакуумдук насостук системаны колдонушу керек.
(6) чачыранды аба басымы. Жумушчу аба басымы мембрананын чөкмө ылдамдыгына түздөн-түз таасир этет.
Мындан тышкары, электр талаасындагы, атмосферадагы, максаттуу материалдагы, субстраттын температурасындагы жана мембрананын өз ара аракеттенүү параметрлеринин геометриялык түзүлүшүндөгү ар кандай чачыраткыч түзүлүштөрдөн улам, талаптарды жаратуу үчүн процесстин параметрлери боюнча эксперименттерди жүргүзүү керек, алардын ичинен процесстин эң жакшы шарттары аныкталат.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 5-январы