Nā mea e pili ana i ka hoʻokumu ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni Mokuna 2

(4) Mea i manaʻo ʻia. ʻO ka mea i manaʻo ʻia ke kī i ka uhi ʻana i ka sputtering, ma ke ʻano laulā, inā e hoʻokō ka mea i manaʻo ʻia i nā koi, a pono e hoʻomalu pono i nā ʻano hana e loaʻa ai ka papa kiʻiʻoniʻoni. ʻO nā mea haumia i loko o ka mea i manaʻo ʻia a me nā oxides o ka ʻili a me nā mea haumia ʻē aʻe he kumu nui ia o ka haumia o ka kiʻiʻoniʻoni, no laila, i mea e loaʻa ai kahi papa maʻemaʻe kiʻekiʻe, me ka hoʻohana ʻana i ka mea i manaʻo ʻia he maʻemaʻe kiʻekiʻe, i kēlā me kēia sputtering, pono e lilo ka pahuhopu mua no ka pre-sputtering i mea e hoʻomaʻemaʻe ai i ka ʻili o ka pahuhopu, e wehe i ka ʻili o ka pahuhopu o ka papa oxide.

(5) Ka hakahaka hope. Hōʻike pololei ka pae o ka hakahaka hope i ka nui o ke kinoea i koe i loko o ka ʻōnaehana, a ʻo ke kinoea i koe he kumu nui nō hoʻi ia o ka haumia o ka papa kiʻiʻoniʻoni, no laila pono e hoʻomaikaʻi ʻia ka hakahaka hope e like me ka hiki. Ma ka haumia o kekahi pilikia ʻo ia ka pamu hoʻolaha aila e hoʻi i ka aila, e hopena ana i ka doping kalapona i loko o ka membrane, ʻo nā koi ʻoi aku ka paʻakikī o ka membrane e lawe i nā hana kūpono a i ʻole ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana pumping vacuum kiʻekiʻe ʻole aila.
(6) kaomi ea pīpī. Hoʻopilikia pololei ke kaomi ea hana i ka wikiwiki o ka waiho ʻana o ka membrane.
Eia kekahi, ma muli o nā ʻano hana sputtering like ʻole i loko o ke kahua uila, ka lewa, ka mea i hoʻolālā ʻia, ka mahana o ka substrate a me ke ʻano geometric o nā palena o ka pilina ma waena o ka membrane e hana i nā koi, pono e hana i nā hoʻokolohua ma nā palena o ke kaʻina hana, mai kahi e loaʻa ai nā kūlana kaʻina hana maikaʻi loa.

–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua