(4) Бай материал. Бай материал нь ерөнхийдөө цацалтын бүрхүүлийн гол түлхүүр бөгөөд хэрэв бай материал нь шаардлагыг хангаж байвал хальсан давхаргыг авахын тулд процессын параметрүүдийг хатуу хянах шаардлагатай байж болно. Бай материалын хольц болон гадаргуугийн исэл болон бусад бохирдуулагч бодисууд нь хальсны бохирдлын чухал эх үүсвэр болдог тул өндөр цэвэршилттэй давхарга авахын тулд өндөр цэвэршилттэй бай материалыг ашиглахаас гадна цацах бүрт байны гадаргууг цэвэрлэх, исэлдсэн давхаргын бай гадаргууг арилгахын тулд урьдчилан цацах эхний бай байх ёстой.
(5) Дэвсгэр вакуум. Дэвсгэр вакуумын түвшин нь систем дэх үлдэгдэл хийн хэмжээг шууд тусгадаг бөгөөд үлдэгдэл хий нь хальсан давхаргын бохирдлын чухал эх үүсвэр тул дэвсгэр вакуумыг аль болох сайжруулах хэрэгтэй. Бохирдлын өөр нэг асуудал бол тосны диффузийн насосыг тос руу буцааж оруулж, мембранд нүүрстөрөгчийн хольц үүсгэдэг тул мембраны илүү хатуу шаардлагыг зохих арга хэмжээ авах эсвэл тосгүй өндөр вакуум шахах систем ашиглах хэрэгтэй.
(6) цацах агаарын даралт. Ажлын агаарын даралт нь мембраны тунадасны хурдад шууд нөлөөлдөг.
Үүнээс гадна, цахилгаан орон, агаар мандал, бай материал, субстратын температур болон геометрийн бүтэц дэх янз бүрийн цацалтын төхөөрөмжүүдийн хоорондын харилцан үйлчлэлийн параметрүүдээс шалтгаалан мембраны хоорондын харилцан үйлчлэлийн шаардлагыг бий болгохын тулд процессын параметрүүд дээр туршилт хийх шаардлагатай бөгөөд үүнээс хамгийн сайн процессын нөхцөлийг олж авдаг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 1-р сарын 5