(4) Vật liệu đích. Vật liệu đích là yếu tố then chốt trong quá trình phủ màng bằng phương pháp phún xạ. Nói chung, miễn là vật liệu đích đáp ứng các yêu cầu và kiểm soát chặt chẽ các thông số quy trình thì có thể thu được lớp màng. Các tạp chất trong vật liệu đích, oxit bề mặt và các chất tạp chất khác là nguồn gây ô nhiễm màng quan trọng, vì vậy để có được lớp màng có độ tinh khiết cao, ngoài việc sử dụng vật liệu đích có độ tinh khiết cao, trong mỗi lần phún xạ cần phải thực hiện phún xạ sơ bộ vật liệu đích trước để làm sạch bề mặt vật liệu đích, loại bỏ lớp oxit trên bề mặt vật liệu đích.
(5) Chân không nền. Mức độ chân không nền phản ánh trực tiếp lượng khí dư trong hệ thống, và khí dư cũng là một nguồn gây ô nhiễm quan trọng cho lớp màng, vì vậy cần cải thiện chân không nền càng nhiều càng tốt. Một vấn đề khác về ô nhiễm là bơm khuếch tán dầu hồi lưu dầu, dẫn đến hiện tượng pha tạp carbon trong màng, đối với các yêu cầu khắt khe hơn về màng thì cần có các biện pháp thích hợp hoặc sử dụng hệ thống bơm chân không cao không dầu.
(6) áp suất không khí phun. Áp suất không khí làm việc ảnh hưởng trực tiếp đến tốc độ lắng đọng của màng.
Ngoài ra, do sự khác biệt về các thiết bị lắng đọng phún xạ trong điện trường, môi trường, vật liệu đích, nhiệt độ chất nền và cấu trúc hình học của các thông số tương tác giữa màng để tạo ra các yêu cầu, cần phải tiến hành các thí nghiệm về các thông số của quá trình để từ đó tìm ra các điều kiện xử lý tối ưu nhất.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 05/01/2024