(4) Maksatly material. Maksatly material, umuman alanyňda, maksatly material talaplara laýyk gelýänçä we film gatlagyny almak üçin proses parametrlerine berk gözegçilik edilip bilner. Maksatly materialdaky we ýerüsti oksidlerdäki we beýleki haram maddalardaky hapalar, film hapalanmagynyň möhüm çeşmesidir, şonuň üçin ýokary arassalyk gatlagyny almak üçin, ýokary arassalyk maksatly materialdan başga-da, her tüýkürmek nyşanyň üstüni arassalamak, oksid gatlagynyň maksatly ýerini aýyrmak üçin ilkinji maksat bolmaly.
(5) Fon wakuum. Fon wakuumyň derejesi ulgamdaky galyndy gazyň mukdaryny gönüden-göni görkezýär we galyndy gaz hem film gatlagynyň hapalanmagynyň möhüm çeşmesidir, şonuň üçin fon wakuumy mümkin boldugyça gowulandyrmaly. Anotherene bir meseläniň hapalanmagy bilen, nebite gaýtadan ýaýradylan nasos, membranada uglerodyň dop edilmegine sebäp bolýar, membrananyň has berk talaplary degişli çäreleri görmeli ýa-da ýagsyz ýokary wakuum nasos ulgamyny ulanmaly.
(6) howa basyşyny tüýkürmek. Işleýän howa basyşy membrananyň çökgünligine gönüden-göni täsir edýär.
Mundan başga-da, talaplary öndürmek üçin membrananyň özara täsiriniň parametrleriniň elektrik meýdanynda, atmosferada, maksatly materialda, substratyň temperaturasynda we geometrik gurluşynda dürli tüýdük enjamlary sebäpli, iň oňat proses şertleri bolan prosesiň parametrleri boýunça synaglar geçirmek zerurdyr.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: -anwar-05-2024