ข้อดีของเป้าทรงกระบอก

1) เป้าหมายทรงกระบอกมีอัตราการใช้ประโยชน์ที่สูงกว่าเป้าหมายแบบระนาบ ในกระบวนการเคลือบ ไม่ว่าจะเป็นเป้าหมายแบบแม่เหล็กหมุนหรือเป้าหมายสปัตเตอร์ทรงกระบอกแบบท่อหมุน ทุกส่วนของพื้นผิวของท่อเป้าหมายจะผ่านพื้นที่สปัตเตอร์ที่เกิดขึ้นด้านหน้าของแม่เหล็กถาวรอย่างต่อเนื่องเพื่อรับการสปัตเตอร์แคโทด และสามารถแกะสลักเป้าหมายสปัตเตอร์ได้อย่างสม่ำเสมอ และอัตราการใช้ประโยชน์ของเป้าหมายก็สูง อัตราการใช้ประโยชน์ของวัสดุเป้าหมายอยู่ที่ประมาณ 80%~90%

2) เป้าทรงกระบอกจะไม่ก่อให้เกิด "พิษต่อเป้า" ได้ง่าย ในระหว่างกระบวนการเคลือบ พื้นผิวของหลอดเป้าจะเกิดการพ่นและกัดกร่อนโดยไอออนเสมอ และไม่เกิดการสะสมออกไซด์หนาและฟิล์มฉนวนอื่นๆ บนพื้นผิวได้ง่าย และไม่เกิด "พิษต่อเป้า" ได้ง่าย

3) โครงสร้างของเป้าสปัตเตอร์ทรงกระบอกชนิดท่อเป้าหมายหมุนนั้นเรียบง่ายและติดตั้งง่าย

4) วัสดุท่อเป้าหมายทรงกระบอกมีหลายประเภท เป้าหมายแบบระนาบพร้อมเป้าหมายโลหะที่ระบายความร้อนด้วยน้ำโดยตรง และบางส่วนไม่สามารถประมวลผลและขึ้นรูปเป้าหมายทรงกระบอกได้ เช่น เป้าหมาย In2-SnO2 เป็นต้น โดยใช้ผงวัสดุสำหรับการกดแบบไอโซสแตติกร้อนเพื่อให้ได้เป้าหมายแบบแผ่น เนื่องจากไม่สามารถทำให้ขนาดใหญ่และเปราะได้ จึงจำเป็นต้องใช้วิธีการบัดกรีและแผ่นหลังทองแดงเพื่อรวมเข้าด้วยกัน จากนั้นจึงติดตั้งบนฐานเป้าหมาย นอกจากท่อโลหะแล้ว เป้าหมายแบบคอลัมน์ยังสามารถพ่นบนพื้นผิวของท่อสแตนเลสด้วยวัสดุต่างๆ ที่ต้องเคลือบ เช่น Si, Cr เป็นต้น

ปัจจุบัน สัดส่วนของเป้าทรงกระบอกสำหรับการเคลือบในการผลิตภาคอุตสาหกรรมกำลังเพิ่มขึ้น เป้าทรงกระบอกไม่เพียงแต่ใช้ในเครื่องเคลือบแนวตั้งเท่านั้น แต่ยังใช้ในเครื่องเคลือบแบบม้วนต่อม้วนอีกด้วย ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา เป้าคู่แบบระนาบค่อยๆ ถูกแทนที่ด้วยเป้าคู่แบบทรงกระบอก

——บทความนี้เผยแพร่โดย Guangdong Zhenhua Technology ซึ่งเป็นบริษัทผู้ผลิตเครื่องเคลือบออปติคอล.