Дарвоқеъ, технологияи таҳшинсозии чӯби ион як технологияи таркибӣ мебошад. Ин як усули муолиҷаи таркибии ионҳои сатҳи рӯизаминӣ мебошад, ки имплантатсияи ионҳо ва технологияи плёнкаи таҳшиншавии физикии буғ ва як намуди нави техникаи оптимизатсияи сатҳи чӯбро дар бар мегирад. Илова бар бартариҳои таҳшиншавии буғи физикӣ, ин техника метавонад ҳама гуна плёнкаи ғафсиро дар шароити сахттари назорат пайваста афзоиш диҳад, кристаллӣ ва ориентацияи қабати плёнкаро ба таври назаррас беҳтар созад, қувваи пайвастшавии қабати плёнка/субстратро баланд бардорад, зичии қабати плёнкаро беҳтар созад ва плёнкаҳои мураккабро бо беҳтарин стехиометрӣ, аз ҷумла дар ҳарорати хонагӣ дар ҳарорати наздик ба даст овардан мумкин нест. Ҷойгиркунии нури ионӣ на танҳо бартариҳои раванди имплантатсияи ионҳоро нигоҳ медорад, балки метавонад субстратро бо плёнкаи тамоман дигар аз субстрат пӯшонад.
Дар ҳама намудҳои таҳшиншавии буғи физикӣ ва буғҳои кимиёвӣ, як қатор таппончаҳои ёрирасони ионҳои бомбаборонро барои ташкили системаи IBAD илова кардан мумкин аст ва ду раванди умумии IBAD ба таври зерин мавҷуданд, тавре ки дар расм нишон дода шудааст:
Тавре ки дар расм (a) нишон дода шудааст, манбаи бухоршавии шуои электронӣ барои шуоъ кардани қабати филм бо шуои ион аз таппончаи ионӣ истифода мешавад ва ба ин васила таҳшиншавии шуои иониро амалӣ мекунад. Бартарӣ дар он аст, ки энергия ва самти нури ионҳоро метавон танзим кард, аммо танҳо як хӯла ё пайвастагиро метавон ҳамчун манбаи бухоршавӣ истифода бурд ва ҳар як фишори буғи ҷузъ ва пайвастагии хӯла гуногун аст, ки ба даст овардани қабати филми таркиби аслии бухоршавиро мушкил мекунад.
Тасвири (б) таҳшиншавии шуои иониро бо ёрии пошидани ионҳо нишон медиҳад, ки онро инчунин бо номи таҳшини дукаратаи пошидани ионҳо меноманд, ки дар он ҳадаф аз маводи рӯйпӯши пошидани нури ионӣ сохта шудааст, маҳсулоти пошидан ҳамчун манбаъ истифода мешавад. Ҳангоми гузоштани он ба субстрат, пошидани нури ионӣ тавассути нурдиҳӣ бо манбаи дигари ион ба даст меояд. Бартарии ин усул дар он аст, ки зарраҳои пошидашуда энергияи муайян доранд, бинобар ин бо субстрат часпидан беҳтар аст; ҳар як ҷузъи ҳадаф метавонад пӯшиши пошида шавад, аммо инчунин метавонад реаксия ба плёнка пошида шавад, танзим кардани таркиби филм осон аст, аммо самаранокии таҳшиншавии он паст аст, ҳадаф гарон аст ва мушкилоте ба монанди пошидани интихобӣ вуҷуд доранд.
Вақти фиристодан: Ноябр-08-2022