Пӯшидани пошидани магнетрон дар разряди дурахшанда бо зичии пасти ҷараёни разряд ва зичии пасти плазма дар камераи пӯшиш анҷом дода мешавад. Ин имкон медиҳад, ки технологияи пошидани магнетрон дорои нуқсонҳо ба монанди қувваи пасти пайвастшавии субстрат филм, суръати пасти ионизатсияи металл ва суръати пасти таҳшиншавӣ. Дар мошини ҷомашӯии магнетронӣ як дастгоҳи разряди камон илова карда шудааст, ки метавонад ҷараёни электронии зичии баландро дар плазмаи камон, ки тавассути разряди камон тавлид шудааст, барои тоза кардани порчаи кор истифода барад, он инчунин метавонад дар пӯшиш ва таҳшини ёрирасон иштирок кунад.
Манбаи қувваи разряди камонро ба мошини ҷомашӯии магнетронӣ илова кунед, ки он метавонад манбаи камон хурд, манбаи камони росткунҷа ё манбаи камонҳои катодӣ силиндрӣ бошад. Ҷараёни электронии зичии баланд, ки аз манбаи камони катод тавлид мешавад, метавонад дар тамоми раванди пӯшиши пошидани магнетрон нақшҳои зеринро иҷро кунад:
1. Коркардро тоза кунед. Пеш аз пӯшидан манбаи камони катод ва ғайраро ба кор дароред, газро бо ҷараёни электронҳои камон ионизатсия кунед ва қисмҳои коркардро бо энергияи кам ва ионҳои зичии баланд тоза кунед.
2. Сарчашмаи камон ва ҳадафи назорати магнитӣ якҷоя карда мешаванд. Вақте ки ҳадафи пошидани магнетрон бо разряди дурахшон барои рӯйпӯш фаъол мешавад, манбаи камони катод низ фаъол мешавад ва ҳарду манбаи пӯшиш ҳамзамон пӯшонида мешаванд. Вақте ки таркиби маводи ҳадафии пошидани магнетрон ва маводи ҳадафии манбаи камон гуногун аст, қабатҳои сершумори плёнка мумкин аст ва қабати плёнкае, ки аз манбаи камони катод ҷойгир шудааст, қабати байниқабатӣ дар филми бисёрқабата мебошад.
3. Сарчашмаи камон катодӣ ҷараёни электронии зичии баландро ҳангоми иштирок дар пӯшиш таъмин мекунад, эҳтимолияти бархӯрд бо атомҳои қабати плёнкаи металлӣ ва газҳои реаксияро афзоиш медиҳад, суръати таҳшиншавӣ, суръати ионизатсияи металлро беҳтар мекунад ва дар мусоидат ба таҳшиншавӣ нақш мебозад.
Манбаи камони катодӣ, ки дар мошини ҷомашӯии магнетронӣ танзим шудааст, манбаи тозакунӣ, манбаи рӯйпӯш ва манбаи ионизатсияро муттаҳид карда, дар беҳтар кардани сифати қабати пошидани магнетрон тавассути истифодаи ҷараёни электронҳои камон дар плазмаи камон нақши мусбӣ мебозад.
Вақти фиристодан: июн-21-2023