అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ

నిజానికి, అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ అనేది ఒక కాంపోజిట్ టెక్నాలజీ. ఇది అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు ఫిజికల్ వేపర్ డిపాజిషన్ ఫిల్మ్ టెక్నాలజీని మరియు కొత్త రకం అయాన్ బీమ్ సర్ఫేస్ ఆప్టిమైజేషన్ టెక్నిక్‌ను కలిపే కాంపోజిట్ సర్ఫేస్ అయాన్ ట్రీట్‌మెంట్ టెక్నిక్. భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ యొక్క ప్రయోజనాలతో పాటు, ఈ టెక్నిక్ మరింత కఠినమైన నియంత్రణ పరిస్థితులలో ఏదైనా మందం ఫిల్మ్‌ను నిరంతరం పెంచగలదు, ఫిల్మ్ లేయర్ యొక్క స్ఫటికీకరణ మరియు విన్యాసాన్ని మరింత గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది, ఫిల్మ్ లేయర్/సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క సంశ్లేషణ బలాన్ని పెంచుతుంది, ఫిల్మ్ లేయర్ యొక్క సాంద్రతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు గది ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడనం వద్ద పొందలేని కొత్త రకాల ఫిల్మ్‌లతో సహా గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఆదర్శవంతమైన స్టోయికియోమెట్రిక్ నిష్పత్తులతో కాంపౌండ్ ఫిల్మ్‌లను సంశ్లేషణ చేస్తుంది. అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియ యొక్క ప్రయోజనాలను నిలుపుకోవడమే కాకుండా, సబ్‌స్ట్రేట్ నుండి పూర్తిగా భిన్నమైన ఫిల్మ్‌తో సబ్‌స్ట్రేట్‌ను కవర్ చేయగలదు.
అన్ని రకాల భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణలలో, IBAD వ్యవస్థను రూపొందించడానికి సహాయక బాంబు దాడి అయాన్ తుపాకుల సమితిని జోడించవచ్చు మరియు చిత్రంలో చూపిన విధంగా రెండు సాధారణ IBAD ప్రక్రియలు ఉన్నాయి:

చిత్రం (a)లో చూపిన విధంగా, అయాన్ గన్ నుండి విడుదలయ్యే అయాన్ పుంజంతో ఫిల్మ్ పొరను వికిరణం చేయడానికి ఎలక్ట్రాన్ పుంజం బాష్పీభవన మూలాన్ని ఉపయోగిస్తారు, తద్వారా అయాన్ పుంజం సహాయక నిక్షేపణను గ్రహించవచ్చు. ప్రయోజనం ఏమిటంటే అయాన్ పుంజం శక్తి మరియు దిశను సర్దుబాటు చేయవచ్చు, కానీ ఒకే లేదా పరిమిత మిశ్రమం లేదా సమ్మేళనాన్ని మాత్రమే బాష్పీభవన మూలంగా ఉపయోగించవచ్చు మరియు మిశ్రమం భాగం మరియు సమ్మేళనం యొక్క ప్రతి ఆవిరి పీడనం భిన్నంగా ఉంటుంది, ఇది అసలు బాష్పీభవన మూల కూర్పు యొక్క ఫిల్మ్ పొరను పొందడం కష్టతరం చేస్తుంది.
చిత్రం (బి) అయాన్ బీమ్ స్పట్టరింగ్-సహాయక నిక్షేపణను చూపిస్తుంది, దీనిని డబుల్ అయాన్ బీమ్ స్పట్టరింగ్ నిక్షేపణ అని కూడా పిలుస్తారు, దీనిలో అయాన్ బీమ్ స్పట్టరింగ్ పూత పదార్థంతో తయారు చేయబడిన లక్ష్యం, స్పట్టరింగ్ ఉత్పత్తులను మూలంగా ఉపయోగిస్తారు. దానిని ఉపరితలంపై జమ చేస్తున్నప్పుడు, అయాన్ బీమ్ స్పట్టరింగ్ సహాయక నిక్షేపణ మరొక అయాన్ మూలంతో వికిరణం ద్వారా సాధించబడుతుంది. ఈ పద్ధతి యొక్క ప్రయోజనం ఏమిటంటే, స్పట్టర్డ్ కణాలు స్వయంగా ఒక నిర్దిష్ట శక్తిని కలిగి ఉంటాయి, కాబట్టి సబ్‌స్ట్రేట్‌తో మెరుగైన సంశ్లేషణ ఉంటుంది; లక్ష్యంలోని ఏదైనా భాగాన్ని స్పట్టర్డ్ పూతగా చేయవచ్చు, కానీ రియాక్షన్ స్ప్ట్టరింగ్‌గా కూడా ఫిల్మ్‌లోకి పంపవచ్చు, ఫిల్మ్ యొక్క కూర్పును సర్దుబాటు చేయడం సులభం, కానీ దాని నిక్షేపణ సామర్థ్యం తక్కువగా ఉంటుంది, లక్ష్యం ఖరీదైనది మరియు సెలెక్టివ్ స్పట్టరింగ్ వంటి సమస్యలు ఉన్నాయి.