அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு தொழில்நுட்பம்

உண்மையில், அயன் கற்றை உதவி படிவு தொழில்நுட்பம் ஒரு கூட்டு தொழில்நுட்பமாகும். இது அயன் பொருத்துதல் மற்றும் இயற்பியல் நீராவி படிவு பட தொழில்நுட்பத்தையும், புதிய வகை அயன் கற்றை மேற்பரப்பு உகப்பாக்க நுட்பத்தையும் இணைக்கும் ஒரு கூட்டு மேற்பரப்பு அயன் சிகிச்சை நுட்பமாகும். இயற்பியல் நீராவி படிவின் நன்மைகளுக்கு கூடுதலாக, இந்த நுட்பம் எந்தவொரு தடிமன் படலத்தையும் மிகவும் கடுமையான கட்டுப்பாட்டு நிலைமைகளின் கீழ் தொடர்ந்து வளர்க்கலாம், பட அடுக்கின் படிகத்தன்மை மற்றும் நோக்குநிலையை கணிசமாக மேம்படுத்தலாம், பட அடுக்கு/அடி மூலக்கூறின் ஒட்டுதல் வலிமையை அதிகரிக்கலாம், பட அடுக்கின் அடர்த்தியை மேம்படுத்தலாம் மற்றும் அறை வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில் பெற முடியாத புதிய வகை படலங்கள் உட்பட, அறை வெப்பநிலையில் சிறந்த ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் விகிதங்களுடன் கலவை படலங்களை ஒருங்கிணைக்கலாம். அயன் கற்றை உதவி படிவு அயன் பொருத்துதல் செயல்முறையின் நன்மைகளைத் தக்கவைத்துக்கொள்வது மட்டுமல்லாமல், அடி மூலக்கூறிலிருந்து முற்றிலும் மாறுபட்ட படலத்தால் அடி மூலக்கூறை மறைக்கவும் முடியும்.
அனைத்து வகையான இயற்பியல் நீராவி படிவு மற்றும் வேதியியல் நீராவி படிவுகளிலும், ஒரு துணை குண்டுவீச்சு அயன் துப்பாக்கிகளின் தொகுப்பைச் சேர்த்து ஒரு IBAD அமைப்பை உருவாக்கலாம், மேலும் படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, பின்வருமாறு இரண்டு பொதுவான IBAD செயல்முறைகள் உள்ளன:

படம் (a) இல் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, அயன் துப்பாக்கியிலிருந்து வெளிப்படும் அயன் கற்றை மூலம் படல அடுக்கை கதிர்வீச்சு செய்ய ஒரு எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலத்தைப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதனால் அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு ஏற்படுகிறது. நன்மை என்னவென்றால், அயன் கற்றை ஆற்றலையும் திசையையும் சரிசெய்ய முடியும், ஆனால் ஒரு ஒற்றை அல்லது வரையறுக்கப்பட்ட அலாய் அல்லது கலவையை மட்டுமே ஆவியாதல் மூலமாகப் பயன்படுத்த முடியும், மேலும் அலாய் கூறு மற்றும் சேர்மத்தின் ஒவ்வொரு நீராவி அழுத்தமும் வேறுபட்டது, இது அசல் ஆவியாதல் மூல கலவையின் பட அடுக்கைப் பெறுவதை கடினமாக்குகிறது.
படம் (b) அயன் கற்றை தெளித்தல்-உதவி படிவுகளைக் காட்டுகிறது, இது இரட்டை அயன் கற்றை தெளித்தல் படிவு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இதில் அயன் கற்றை தெளித்தல் பூச்சுப் பொருளால் செய்யப்பட்ட இலக்கு, தெளித்தல் பொருட்கள் மூலமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அதை அடி மூலக்கூறில் வைப்பதன் மூலம், அயன் கற்றை தெளித்தல் உதவி படிவு மற்றொரு அயனி மூலத்துடன் கதிர்வீச்சு மூலம் அடையப்படுகிறது. இந்த முறையின் நன்மை என்னவென்றால், தெளிக்கப்பட்ட துகள்கள் தாமே ஒரு குறிப்பிட்ட ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளன, எனவே அடி மூலக்கூறுடன் சிறந்த ஒட்டுதல் உள்ளது; இலக்கின் எந்தவொரு கூறுகளையும் தெளித்தல் பூச்சாகக் கொள்ளலாம், ஆனால் எதிர்வினை படலத்தில் தெளித்தல், படத்தின் கலவையை சரிசெய்ய எளிதானது, ஆனால் அதன் படிவு திறன் குறைவாக உள்ளது, இலக்கு விலை உயர்ந்தது மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட தெளித்தல் போன்ற சிக்கல்கள் உள்ளன.