ஆர்க் டிஸ்சார்ஜ் பவர் சப்ளை மூலம் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சுகளை மேம்படுத்துதல்

மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு பளபளப்பு வெளியேற்றத்தில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, குறைந்த வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தி மற்றும் பூச்சு அறையில் குறைந்த பிளாஸ்மா அடர்த்தி கொண்டது. இது மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்பத்திற்கு குறைந்த பட அடி மூலக்கூறு பிணைப்பு விசை, குறைந்த உலோக அயனியாக்கம் விகிதம் மற்றும் குறைந்த படிவு விகிதம் போன்ற குறைபாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திரத்தில், ஒரு ஆர்க் டிஸ்சார்ஜ் சாதனம் சேர்க்கப்பட்டுள்ளது, இது ஆர்க் டிஸ்சார்ஜால் உருவாக்கப்படும் ஆர்க் பிளாஸ்மாவில் உள்ள உயர் அடர்த்தி எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தைப் பயன்படுத்தி பணிப்பகுதியை சுத்தம் செய்யலாம், இது பூச்சு மற்றும் துணை படிவுகளிலும் பங்கேற்கலாம்.

மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திரத்தில் ஒரு ஆர்க் டிஸ்சார்ஜ் பவர் சோர்ஸைச் சேர்க்கவும், இது ஒரு சிறிய ஆர்க் மூலமாகவோ, செவ்வக பிளானர் ஆர்க் மூலமாகவோ அல்லது உருளை வடிவ கேத்தோடு ஆர்க் மூலமாகவோ இருக்கலாம். கேத்தோடு ஆர்க் மூலத்தால் உருவாக்கப்படும் உயர் அடர்த்தி எலக்ட்ரான் ஓட்டம், மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு முழு செயல்முறையிலும் பின்வரும் பாத்திரங்களை வகிக்க முடியும்:
1. பணிப்பகுதியை சுத்தம் செய்யவும். பூசுவதற்கு முன், கேத்தோடு வில் மூலத்தை இயக்கவும், முதலியன, வில் எலக்ட்ரான் ஓட்டத்துடன் வாயுவை அயனியாக்கம் செய்யவும், மேலும் குறைந்த ஆற்றல் மற்றும் அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஆர்கான் அயனிகளைக் கொண்டு பணிப்பகுதியை சுத்தம் செய்யவும்.
2. வில் மூலமும் காந்தக் கட்டுப்பாட்டு இலக்கும் ஒன்றாக பூசப்படுகின்றன. பளபளப்பு வெளியேற்றத்துடன் கூடிய மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு பூச்சுக்காக செயல்படுத்தப்படும்போது, ​​கேத்தோடு ஆர்க் மூலமும் செயல்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் இரண்டு பூச்சு மூலங்களும் ஒரே நேரத்தில் பூசப்படுகின்றன. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு பொருள் மற்றும் ஆர்க் மூல இலக்கு பொருள் ஆகியவற்றின் கலவை வேறுபட்டால், பல அடுக்கு படலங்களை பூசலாம், மேலும் கேத்தோடு ஆர்க் மூலத்தால் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பட அடுக்கு பல அடுக்கு படத்தில் ஒரு இடை அடுக்காகும்.
3. கேத்தோடு ஆர்க் மூலமானது பூச்சுகளில் பங்கேற்கும் போது அதிக அடர்த்தி கொண்ட எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தை வழங்குகிறது, சிதறடிக்கப்பட்ட உலோகப் படல அடுக்கு அணுக்கள் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுடன் மோதுவதற்கான நிகழ்தகவை அதிகரிக்கிறது, படிவு விகிதம், உலோக அயனியாக்கம் விகிதம் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் படிவுக்கு உதவுவதில் பங்கு வகிக்கிறது.

மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திரத்தில் கட்டமைக்கப்பட்ட கேத்தோடு ஆர்க் மூலமானது, ஒரு துப்புரவு மூலத்தையும், பூச்சு மூலத்தையும், அயனியாக்கம் மூலத்தையும் ஒருங்கிணைக்கிறது, ஆர்க் பிளாஸ்மாவில் உள்ள ஆர்க் எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சுகளின் தரத்தை மேம்படுத்துவதில் நேர்மறையான பங்கை வகிக்கிறது.