У ствари, технологија таложења уз помоћ јонског снопа је композитна технологија. То је техника обраде површине јонима која комбинује технологију јонске имплантације и физичког таложења филма из паре, и нови тип технике оптимизације површине јонским снопом. Поред предности физичког таложења из паре, ова техника може континуирано да узгаја филм било које дебљине под строжим контролним условима, значајније побољшава кристалност и оријентацију слоја филма, повећава чврстоћу адхезије слоја филма/подлоге, побољшава густину слоја филма и синтетише сложене филмове са идеалним стехиометријским односима на температури близу собне температуре, укључујући нове врсте филмова који се не могу добити на собној температури и притиску. Таложење уз помоћ јонског снопа не само да задржава предности процеса јонске имплантације, већ може и да прекрије подлогу потпуно другачијим филмом од подлоге.
Код свих врста физичког и хемијског таложења из паре, може се додати скуп помоћних јонских топова за бомбардовање да би се формирао ИБАД систем, а постоје два општа ИБАД процеса као што следи, као што је приказано на слици:
Као што је приказано на слици (а), извор испаравања електронским снопом се користи за озрачивање слоја филма јонским снопом који се емитује из јонског топа, чиме се остварује таложење уз помоћ јонског снопа. Предност је у томе што се енергија и правац јонског снопа могу подесити, али се као извор испаравања може користити само једна или ограничена легура или једињење, а сваки притисак паре компоненте легуре и једињења је различит, што отежава добијање слоја филма оригиналног састава извора испаравања.
Слика (б) приказује таложење уз помоћ јонског снопа распршивања, које је такође познато као таложење двоструким јонским снопом распршивања, у коме је мета направљена од материјала за премаз распршивања јонским снопом, а производи распршивања се користе као извор. Приликом таложења на подлогу, таложење уз помоћ јонског снопа распршивања постиже се зрачењем другим извором јона. Предност ове методе је у томе што саме распршене честице имају одређену енергију, тако да постоји боље приањање са подлогом; било која компонента мете може бити распршена, али се такође може реакцијски распршити у филм, лако је подесити састав филма, али је ефикасност таложења ниска, мета је скупа и постоје проблеми као што је селективно распршивање.
Време објаве: 08.11.2022.