(4) Materiali i synuar. Materiali i synuar është çelësi i veshjes me spërkatje, në përgjithësi, për sa kohë që materiali i synuar plotëson kërkesat, dhe mund të kërkohet kontroll i rreptë i parametrave të procesit për të marrë shtresën e filmit. Papastërtitë në materialin e synuar dhe oksidet sipërfaqësore dhe substancat e tjera të papastra janë një burim i rëndësishëm i ndotjes së filmit, prandaj, për të marrë një shtresë me pastërti të lartë, përveç përdorimit të materialit të synuar me pastërti të lartë, në çdo spërkatje duhet të jetë objektivi i parë për para-spërkatje në mënyrë që të pastrohet sipërfaqja e objektivit, për të hequr sipërfaqen e objektivit të shtresës së oksidit.
(5) Vakumi në sfond. Niveli i vakumit në sfond pasqyron drejtpërdrejt sasinë e gazit të mbetur në sistem, dhe gazi i mbetur është gjithashtu një burim i rëndësishëm i ndotjes së shtresës së filmit, kështu që vakumi në sfond duhet të përmirësohet sa më shumë që të jetë e mundur. Një problem tjetër për ndotjen është pompa e difuzionit të vajit që kthehet përsëri në vaj, duke rezultuar në doping karboni në membranë, kërkesat më të rrepta të membranës duhet të marrin masa të përshtatshme ose të përdorin sistem pompimi me vakum të lartë pa vaj.
(6) presioni i ajrit të spërkatjes. Presioni i ajrit të punës ndikon drejtpërdrejt në shkallën e depozitimit të membranës.
Përveç kësaj, për shkak të pajisjeve të ndryshme të spërkatjes në fushën elektrike, atmosferën, materialin e synuar, temperaturën e substratit dhe strukturën gjeometrike të parametrave të bashkëveprimit midis membranës për të prodhuar kërkesat, është e nevojshme të bëhen eksperimente mbi parametrat e procesit, nga të cilat kushtet më të mira të procesit.
– Ky artikull është publikuar ngaprodhuesi i makinës së veshjes me vakumGuangdong Zhenhua
Koha e postimit: 05 Janar 2024