Pravzaprav je tehnologija nanašanja z ionskim žarkom kompozitna tehnologija. Gre za tehniko obdelave kompozitnih površin z ionskimi ioni, ki združuje tehnologijo ionske implantacije in fizikalnega nanašanja filmov s paro ter novo vrsto tehnike optimizacije površine z ionskim žarkom. Poleg prednosti fizikalnega nanašanja s paro lahko ta tehnika neprekinjeno raste film katere koli debeline pod strožjimi nadzorovanimi pogoji, bistveno izboljša kristalnost in orientacijo filmske plasti, poveča oprijemno trdnost filmske plasti/substrata, izboljša gostoto filmske plasti in sintetizira sestavljene filme z idealnimi stehiometričnimi razmerji pri temperaturi blizu sobne, vključno z novimi vrstami filmov, ki jih ni mogoče dobiti pri sobni temperaturi in tlaku. Nanašanje z ionskim žarkom ne le ohranja prednosti postopka ionske implantacije, ampak lahko tudi prekrije substrat s popolnoma drugačnim filmom od substrata.
Pri vseh vrstah fizičnega nanašanja iz pare in kemičnega nanašanja iz pare se lahko doda niz pomožnih bombardirnih ionskih topov, ki tvorijo sistem IBAD, in obstajata dva splošna postopka IBAD, kot je prikazano na sliki:
Kot je prikazano na sliki (a), se za obsevanje filmske plasti z ionskim žarkom, ki ga oddaja ionska pištola, uporablja vir elektronskega izhlapevanja, s čimer se doseže nanašanje s pomočjo ionskega žarka. Prednost je v tem, da je mogoče energijo in smer ionskega žarka prilagajati, vendar se kot vir izhlapevanja lahko uporabi le ena ali omejena zlitina ali spojina, pri čemer je parni tlak vsake komponente zlitine in spojine drugačen, zaradi česar je težko dobiti filmsko plast z originalno sestavo vira izhlapevanja.
Slika (b) prikazuje nanašanje z ionskim snopom, znano tudi kot nanašanje z dvojnim ionskim snopom, pri katerem je tarča izdelana iz materiala za premaz z ionskim snopom, produkti brizganja pa se uporabljajo kot vir. Med nanašanjem na substrat se nanašanje z ionskim snopom doseže z obsevanjem z drugim ionskim virom. Prednost te metode je, da imajo sami brizgani delci določeno energijo, zato je oprijem na substrat boljši; na katero koli komponento tarče se lahko nanese premaz z brizganjem, lahko pa se tudi reakcijsko brizga v film, kar omogoča enostavno prilagajanje sestave filma, vendar je učinkovitost nanašanja nizka, tarča je draga in obstajajo težave, kot je selektivno brizganje.
Čas objave: 8. november 2022