1. Thevakuumsko izhlapevanje z nanosomPostopek vključuje izhlapevanje filmskih materialov, transport atomov pare v visokem vakuumu ter proces nukleacije in rasti atomov pare na površini obdelovanca.
2. Stopnja vakuumskega nanašanja vakuumskega izhlapevanja je visoka, običajno 10-510-3Prosta pot molekul plina je reda velikosti 1~10 m, kar je veliko več kot razdalja od vira izhlapevanja do obdelovanca. Ta razdalja se imenuje izhlapevalna razdalja in je običajno 300~800 mm. Delci prevleke komajda trčijo v molekule plina in atome hlapov ter dosežejo obdelovanec.
3. Plast prevleke z vakuumskim izhlapevanjem ni navita, atomi hlapov pa gredo neposredno na obdelovanec pod visokim vakuumom. Filmsko plast lahko prejme le stran obdelovanca, ki je obrnjena proti viru izhlapevanja, medtem ko stran in hrbtna stran obdelovanca filmsko plast komaj prejmeta, filmska plast pa ima slabo prevleko.
4. Energija delcev plasti prevleke z vakuumskim izhlapevanjem je nizka, energija, ki doseže obdelovanec, pa je toplotna energija, ki jo prenaša izhlapevanje. Ker obdelovanec med vakuumskim izhlapevanjem ni pristranski, se kovinski atomi med izhlapevanjem zanašajo le na toploto izhlapevanja. Temperatura izhlapevanja je 1000–2000 °C, prenesena energija pa je enaka 0,1–0,2 eV. Zato je energija delcev filma nizka, vezna sila med plastjo filma in matrico je majhna in težko je tvoriti sestavljeno prevleko.
5. Premazna plast z vakuumskim izhlapevanjem ima fino strukturo. Postopek vakuumskega izhlapevanja poteka pod visokim vakuumom, delci filma v pari pa so v bistvu atomske velikosti in tvorijo fino jedro na površini obdelovanca.
Čas objave: 14. junij 2023