Magnetronsko naprševanje se izvaja v žarilni razelektritvi z nizko gostoto razelektritvenega toka in nizko gostoto plazme v komori za nanos. Zaradi tega ima tehnologija magnetronskega naprševanja pomanjkljivosti, kot so nizka sila vezave filma na podlago, nizka stopnja ionizacije kovine in nizka stopnja nanašanja. V stroju za magnetronsko naprševanje je dodana naprava za obločno praznjenje, ki lahko uporabi elektronski tok visoke gostote v obločni plazmi, ki jo ustvari obločno praznjenje, za čiščenje obdelovanca in lahko sodeluje tudi pri nanosu premaza in pomožnem nanašanju.
V stroj za magnetronsko naprševanje dodajte vir energije za obločno razelektritev, ki je lahko majhen vir obloka, pravokotni ravninski vir obloka ali valjasti vir katodne loka. Visoko gostota elektronskega toka, ki ga ustvarja vir katodne loka, lahko v celotnem procesu magnetronskega naprševanja igra naslednje vloge:
1. Očistite obdelovanec. Pred nanašanjem premaza vklopite vir katodnega obloka itd., ionizirajte plin s tokom elektronov obloka in očistite obdelovanec z nizkoenergijskimi in visokogostotnimi ioni argona.
2. Vir obloka in magnetna krmilna tarča sta prevlečena skupaj. Ko se za prevleko aktivira magnetronska razpršilna tarča s tlečim razelektritvijo, se aktivira tudi katodni vir obloka in oba vira prevleke se hkrati prevlečeta. Če se sestava materiala magnetronske razpršilne tarče in materiala tarče vira obloka razlikuje, se lahko nanese več plasti filma, plast filma, ki jo nanese katodni vir obloka, pa je vmesna plast v večplastnem filmu.
3. Vir katodnega loka zagotavlja visoko gostoto elektronskega toka pri sodelovanju v nanašanju prevleke, kar povečuje verjetnost trka z atomi razpršene kovinske plasti in reakcijskimi plini, izboljšuje hitrost nanašanja, hitrost ionizacije kovine in igra vlogo pri pomoči pri nanašanju.
Katodni obločni vir, konfiguriran v napravi za magnetronsko naprševanje, združuje čistilni vir, vir prevleke in vir ionizacije, kar pozitivno vpliva na izboljšanje kakovosti magnetronskega naprševanja z uporabo toka elektronov obloka v obločni plazmi.
Čas objave: 21. junij 2023