Technológia depozície s asistenciou iónového lúča je v skutočnosti kompozitná technológia. Ide o techniku iónovej úpravy kompozitného povrchu, ktorá kombinuje technológiu iónovej implantácie a fyzikálnej depozície z pár a predstavuje nový typ techniky optimalizácie povrchu iónovým lúčom. Okrem výhod fyzikálnej depozície z pár dokáže táto technika kontinuálne pestovať film akejkoľvek hrúbky za prísnejších kontrolovaných podmienok, výrazne zlepšiť kryštalinitu a orientáciu vrstvy filmu, zvýšiť adhéznu pevnosť medzi vrstvou filmu a substrátom, zlepšiť hustotu vrstvy filmu a syntetizovať zložené filmy s ideálnymi stechiometrickými pomermi pri teplote blízkej izbovej teplote, vrátane nových typov filmov, ktoré nie je možné získať pri izbovej teplote a tlaku. Depozícia s asistenciou iónového lúča si nielen zachováva výhody procesu iónovej implantácie, ale dokáže tiež pokryť substrát úplne odlišným filmom od substrátu.
Pri všetkých druhoch fyzikálneho a chemického nanášania z pár je možné pridať sadu pomocných bombardovacích iónových kanónov, čím sa vytvorí systém IBAD, a existujú dva všeobecné procesy IBAD, ako je znázornené na obrázku:
Ako je znázornené na obr. (a), na ožiarenie filmovej vrstvy iónovým lúčom emitovaným z iónovej pištole sa používa zdroj odparovania elektrónovým lúčom, čím sa dosahuje depozícia s pomocou iónového lúča. Výhodou je, že energia a smer iónového lúča sa dajú nastaviť, ale ako zdroj odparovania sa môže použiť iba jedna alebo obmedzená zliatina alebo zlúčenina a tlak pár každej zložky zliatiny a zlúčeniny je odlišný, čo sťažuje získanie filmovej vrstvy s pôvodným zložením zdroja odparovania.
Obrázok (b) znázorňuje depozíciu s asistenciou iónového naprašovania, známu aj ako dvojitá depozícia iónovým naprašovaním, pri ktorej je terč vyrobený z povlakového materiálu naneseného iónovým naprašovaním a ako zdroj sa používajú naprašovacie produkty. Pri nanášaní na substrát sa depozícia s asistenciou iónového naprašovania dosahuje ožiarením iným iónovým zdrojom. Výhodou tejto metódy je, že samotné naprašované častice majú určitú energiu, takže dochádza k lepšej priľnavosti k substrátu; akákoľvek zložka terča môže byť naprašovaná, ale môže byť tiež reakčným naprašovaním nanesená do filmu, čo umožňuje jednoduché nastavenie zloženia filmu, ale účinnosť depozície je nízka, terč je drahý a existujú problémy, ako je selektívne naprašovanie.
Čas uverejnenia: 8. novembra 2022