O revestimento por pulverização catódica magnetron é realizado por descarga luminescente, com baixa densidade de corrente de descarga e baixa densidade de plasma na câmara de revestimento. Isso faz com que a tecnologia de pulverização catódica magnetron tenha desvantagens, como baixa força de ligação do substrato do filme, baixa taxa de ionização do metal e baixa taxa de deposição. Na máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron, é adicionado um dispositivo de descarga de arco, que pode utilizar o fluxo de elétrons de alta densidade no plasma de arco gerado pela descarga de arco para limpar a peça de trabalho. Ele também pode participar do revestimento e da deposição auxiliar.
Adicione uma fonte de energia de descarga de arco na máquina de revestimento por pulverização catódica de magnetron, que pode ser uma pequena fonte de arco, uma fonte de arco plana retangular ou uma fonte de arco catódico cilíndrica. O fluxo de elétrons de alta densidade gerado pela fonte de arco catódico pode desempenhar as seguintes funções em todo o processo de revestimento por pulverização catódica de magnetron:
1. Limpe a peça de trabalho. Antes do revestimento, ligue a fonte de arco catódico, etc., ionize o gás com o fluxo de elétrons do arco e limpe a peça de trabalho com íons de argônio de baixa energia e alta densidade.
2. A fonte de arco e o alvo de controle magnético são revestidos juntos. Quando o alvo de pulverização catódica com descarga luminescente é ativado para o revestimento, a fonte de arco catódica também é ativada, e ambas as fontes de revestimento são revestidas simultaneamente. Quando a composição do material do alvo de pulverização catódica e do material do alvo da fonte de arco é diferente, múltiplas camadas de filme podem ser revestidas, e a camada de filme depositada pela fonte de arco catódica atua como uma camada intermediária no filme multicamadas.
3. A fonte de arco catódico fornece fluxo de elétrons de alta densidade ao participar do revestimento, aumentando a probabilidade de colisão com os átomos da camada de filme metálico pulverizado e gases de reação, melhorando a taxa de deposição, a taxa de ionização do metal e desempenhando um papel no auxílio à deposição.
A fonte de arco catódico configurada na máquina de revestimento por pulverização catódica de magnetron integra uma fonte de limpeza, uma fonte de revestimento e uma fonte de ionização, desempenhando um papel positivo na melhoria da qualidade do revestimento por pulverização catódica de magnetron ao utilizar o fluxo de elétrons do arco no plasma de arco.
Horário da publicação: 21/06/2023