د ګوانګ دونګ ژنهوا ټیکنالوژۍ شرکت ته ښه راغلاست.
واحد_بینر

د ایون بیم په مرسته د زیرمه کولو ټیکنالوژي

د مقالې سرچینه: د ژین هوا خلا
ولولئ: ۱۰
خپور شوی: ۲۲-۱۱-۰۸

په حقیقت کې، د ایون بیم په مرسته د جمع کولو ټیکنالوژي یوه جامع ټیکنالوژي ده. دا د سطحې ایون درملنې یو جامع تخنیک دی چې د ایون امپلانټیشن او فزیکي بخار جمع کولو فلم ټیکنالوژي سره یوځای کوي، او د ایون بیم د سطحې اصلاح کولو یو نوی ډول تخنیک دی. د فزیکي بخار جمع کولو ګټو سربیره، دا تخنیک کولی شي په دوامداره توګه د سخت کنټرول شرایطو لاندې هر ضخامت فلم وده وکړي، د فلم پرت کرسټالینیت او سمت ډیر ښه کړي، د فلم پرت / سبسټریټ د چپکولو ځواک زیات کړي، د فلم پرت کثافت ښه کړي، او د خونې په نږدې تودوخې کې د مثالي سټوچیومیټریک تناسب سره مرکب فلمونه ترکیب کړي، په شمول د فلمونو نوي ډولونه چې د خونې په تودوخې او فشار کې نشي ترلاسه کیدی. د ایون بیم په مرسته جمع کول نه یوازې د ایون امپلانټیشن پروسې ګټې ساتي، بلکه کولی شي سبسټریټ د سبسټریټ څخه په بشپړ ډول مختلف فلم سره پوښي.
د فزیکي بخاراتو د ټولو ډولونو او کیمیاوي بخاراتو د ټولو ډولونو په جمع کولو کې، د IBAD سیسټم جوړولو لپاره د مرستندویه بمبارۍ ایون ټوپکونو یوه سیټ اضافه کیدی شي، او د IBAD دوه عمومي پروسې په لاندې ډول شتون لري، لکه څنګه چې په انځور کې ښودل شوي:
د ایون بیم په مرسته د زیرمه کولو ټیکنالوژي
لکه څنګه چې په انځور (a) کې ښودل شوي، د الکترون بیم تبخیر سرچینه د ایون ټوپک څخه خارج شوي ایون بیم سره د فلم طبقه د شعاع کولو لپاره کارول کیږي، پدې توګه د ایون بیم سره مرسته شوي زیرمه کول احساسوي. ګټه یې دا ده چې د ایون بیم انرژي او سمت تنظیم کیدی شي، مګر یوازې یو واحد یا محدود الیاژ، یا مرکب د تبخیر سرچینې په توګه کارول کیدی شي، او د الیاژ برخې او مرکب هر بخار فشار توپیر لري، کوم چې د اصلي تبخیر سرچینې جوړښت د فلم طبقه ترلاسه کول ستونزمن کوي.
انځور (ب) د ایون بیم سپټرینګ په مرسته جمع کول ښیي، کوم چې د دوه ګوني آیون بیم سپټرینګ جمع کولو په نوم هم پیژندل کیږي، په کوم کې چې هدف د ایون بیم سپټرینګ کوټینګ موادو څخه جوړ شوی، د سپټرینګ محصولات د سرچینې په توګه کارول کیږي. پداسې حال کې چې دا په سبسټریټ کې زیرمه کیږي، د ایون بیم سپټرینګ مرسته شوي جمع کول د بل آئن سرچینې سره د شعاع له لارې ترلاسه کیږي. د دې میتود ګټه دا ده چې سپټر شوي ذرات پخپله یو ټاکلی انرژي لري، نو د سبسټریټ سره غوره چپک شتون لري؛ د هدف هر اجزا کولی شي سپټر شوی کوټینګ وي، مګر دا هم کیدی شي په فلم کې د عکس العمل سپټرینګ وي، د فلم جوړښت تنظیم کول اسانه دي، مګر د هغې د جمع کولو موثریت ټیټ دی، هدف ګران دی او د انتخابي سپټرینګ په څیر ستونزې شتون لري.


د پوسټ وخت: نومبر-۰۸-۲۰۲۲