1. Devacuümverdampingscoatingproces omvat de verdamping van filmmaterialen, het transport van dampatomen in een hoog vacuüm en het proces van nucleatie en groei van dampatomen op het oppervlak van het werkstuk.
2. De vacuümafzettingsgraad van vacuümverdampingscoating is hoog, over het algemeen 10-510-3Pa. De vrije weglengte van gasmoleculen is 1 tot 10 meter, wat veel groter is dan de afstand van de verdampingsbron tot het werkstuk. Deze afstand wordt de verdampingsafstand genoemd en is doorgaans 300 tot 800 mm. De coatingdeeltjes botsen nauwelijks met gasmoleculen en dampatomen en bereiken het werkstuk niet.
3. De vacuümverdampingslaag is niet gewikkeld en de dampatomen gaan onder hoog vacuüm rechtstreeks naar het werkstuk. Alleen de zijde van het werkstuk die naar de verdampingsbron is gericht, kan de filmlaag bereiken, terwijl de zij- en achterkant van het werkstuk de filmlaag nauwelijks kunnen bereiken, waardoor de filmlaag slecht geplateerd is.
4. De energie van de deeltjes in de vacuümverdampingslaag is laag en de energie die het werkstuk bereikt, is de warmte-energie die door de verdamping wordt overgedragen. Omdat het werkstuk niet wordt voorgespannen tijdens vacuümverdamping, zijn de metaalatomen alleen afhankelijk van de verdampingswarmte tijdens de verdamping. De verdampingstemperatuur ligt tussen 1000 en 2000 °C en de overgedragen energie is gelijk aan 0,1 tot 0,2 eV. De energie van de filmdeeltjes is dus laag, de bindingskracht tussen de filmlaag en de matrix is klein en het is moeilijk om een samengestelde coating te vormen.
5. De vacuümverdampingslaag heeft een fijne structuur. Het vacuümverdampingsproces vindt plaats onder hoog vacuüm, waarbij de filmdeeltjes in de damp zich in principe op atomaire schaal bevinden en een fijne kern vormen op het oppervlak van het werkstuk.
Plaatsingstijd: 14 juni 2023

