Magnetronsputtercoating wordt uitgevoerd door middel van gloeiontlading, met een lage ontladingsstroomdichtheid en een lage plasmadichtheid in de coatingkamer. Magnetronsputtertechnologie heeft hierdoor nadelen, zoals een lage hechtkracht op het filmsubstraat, een lage metaalionisatiesnelheid en een lage afzettingssnelheid. Aan de magnetronsputtercoatingmachine is een boogontladingsapparaat toegevoegd, dat de elektronenstroom met hoge dichtheid in het boogplasma, gegenereerd door de boogontlading, kan gebruiken om het werkstuk te reinigen. Het apparaat kan ook worden gebruikt voor coating en hulpafzetting.
Voeg een boogontladingsstroombron toe aan de magnetron sputtercoatingmachine. Dit kan een kleine boogbron, een rechthoekige planaire boogbron of een cilindrische kathodeboogbron zijn. De elektronenstroom met hoge dichtheid die door de kathodeboogbron wordt gegenereerd, kan de volgende rollen spelen in het gehele magnetron sputtercoatingproces:
1. Reinig het werkstuk. Schakel vóór het coaten de kathodeboogbron in, ioniseer het gas met boogelektronenstroom en reinig het werkstuk met argonionen met lage energie en hoge dichtheid.
2. De boogbron en het magnetische besturingsdoel worden samen gecoat. Wanneer het magnetronsputterdoel met gloeiontlading wordt geactiveerd voor coating, wordt ook de kathodeboogbron geactiveerd en worden beide coatingbronnen gelijktijdig gecoat. Wanneer de samenstelling van het magnetronsputterdoelmateriaal en het boogbrondoelmateriaal verschillend is, kunnen meerdere filmlagen worden geplateerd, waarbij de filmlaag die door de kathodeboogbron wordt aangebracht een tussenlaag vormt in de meerlaagse film.
3. De kathodeboogbron zorgt voor een elektronenstroom met hoge dichtheid bij deelname aan de coating, waardoor de kans op een botsing met de gesputterde atomen van de metaalfilmlaag en de reactiegassen toeneemt, de afzettingssnelheid en de metaalionisatiesnelheid worden verbeterd en een rol wordt gespeeld bij het ondersteunen van de afzetting.
De kathodeboogbron die in de magnetron sputtercoatingmachine is geconfigureerd, integreert een reinigingsbron, coatingbron en ionisatiebron en speelt een positieve rol bij het verbeteren van de kwaliteit van de magnetron sputtercoating door gebruik te maken van de boogelektronenstroom in het boogplasma.
Plaatsingstijd: 21-06-2023