वास्तवमा, आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसन टेक्नोलोजी एक कम्पोजिट टेक्नोलोजी हो। यो आयन इम्प्लान्टेसन र भौतिक वाष्प निक्षेप फिल्म टेक्नोलोजी, र नयाँ प्रकारको आयन बीम सतह अनुकूलन प्रविधिलाई संयोजन गर्ने एक कम्पोजिट सतह आयन उपचार प्रविधि हो। भौतिक वाष्प निक्षेपका फाइदाहरूका अतिरिक्त, यो प्रविधिले कुनै पनि मोटाई फिल्मलाई थप कडा नियन्त्रण अवस्थाहरूमा निरन्तर बढाउन सक्छ, फिल्म तहको क्रिस्टलिनिटी र अभिमुखीकरणलाई अझ उल्लेखनीय रूपमा सुधार गर्न सक्छ, फिल्म तह/सब्सट्रेटको आसंजन शक्ति बढाउन सक्छ, फिल्म तहको घनत्व सुधार गर्न सक्छ, र कोठाको तापक्रममा आदर्श स्टोइचियोमेट्रिक अनुपातको साथ कम्पाउन्ड फिल्महरूलाई संश्लेषण गर्न सक्छ, जसमा कोठाको तापक्रम र दबाबमा प्राप्त गर्न नसकिने नयाँ प्रकारका फिल्महरू समावेश छन्। आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसनले आयन इम्प्लान्टेसन प्रक्रियाको फाइदाहरू मात्र कायम राख्दैन, तर सब्सट्रेटलाई सब्सट्रेटबाट पूर्ण रूपमा फरक फिल्मले पनि ढाक्न सक्छ।
सबै प्रकारका भौतिक वाष्प निक्षेपण र रासायनिक वाष्प निक्षेपणमा, IBAD प्रणाली बनाउन सहायक बमबारी आयन बन्दुकहरूको सेट थप्न सकिन्छ, र तस्वीरमा देखाइए अनुसार दुई सामान्य IBAD प्रक्रियाहरू निम्नानुसार छन्:
तस्वीर (a) मा देखाइए अनुसार, आयन गनबाट उत्सर्जित आयन बीमको साथ फिल्म तहलाई विकिरण गर्न इलेक्ट्रोन बीम वाष्पीकरण स्रोत प्रयोग गरिन्छ, जसले गर्दा आयन बीमले सहयोगी निक्षेपण प्राप्त हुन्छ। फाइदा यो हो कि आयन बीम ऊर्जा र दिशा समायोजन गर्न सकिन्छ, तर वाष्पीकरण स्रोतको रूपमा केवल एकल वा सीमित मिश्र धातु, वा यौगिक प्रयोग गर्न सकिन्छ, र मिश्र धातु घटक र यौगिकको प्रत्येक वाष्प दबाब फरक हुन्छ, जसले गर्दा मूल वाष्पीकरण स्रोत संरचनाको फिल्म तह प्राप्त गर्न गाह्रो हुन्छ।
तस्वीर (ख) ले आयन बीम स्पटरिंग-सहायता निक्षेप देखाउँछ, जसलाई डबल आयन बीम स्पटरिंग निक्षेप पनि भनिन्छ, जसमा आयन बीम स्पटरिंग कोटिंग सामग्रीबाट बनेको लक्ष्य, स्पटरिंग उत्पादनहरू स्रोतको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यसलाई सब्सट्रेटमा जम्मा गर्दा, आयन बीम स्पटरिंग असिस्टेड निक्षेप अर्को आयन स्रोतसँग विकिरण द्वारा प्राप्त गरिन्छ। यस विधिको फाइदा यो हो कि स्पटर गरिएको कणहरूमा आफैंमा एक निश्चित ऊर्जा हुन्छ, त्यसैले सब्सट्रेटसँग राम्रो आसंजन हुन्छ; लक्ष्यको कुनै पनि घटक स्पटर गरिएको कोटिंग हुन सक्छ, तर फिल्ममा प्रतिक्रिया स्पटरिंग पनि हुन सक्छ, फिल्मको संरचना समायोजन गर्न सजिलो, तर यसको निक्षेपण दक्षता कम छ, लक्ष्य महँगो छ र चयनात्मक स्पटरिंग जस्ता समस्याहरू छन्।
पोस्ट समय: नोभेम्बर-०८-२०२२