म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंग ग्लो डिस्चार्जमा गरिन्छ, कम डिस्चार्ज करेन्ट घनत्व र कोटिंग चेम्बरमा कम प्लाज्मा घनत्वको साथ। यसले म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ टेक्नोलोजीमा कम फिल्म सब्सट्रेट बन्धन बल, कम धातु आयनीकरण दर, र कम निक्षेप दर जस्ता बेफाइदाहरू छन्। म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंग मेसिनमा, एक आर्क डिस्चार्ज उपकरण थपिएको छ, जसले आर्क डिस्चार्जद्वारा उत्पन्न आर्क प्लाज्मामा उच्च-घनत्व इलेक्ट्रोन प्रवाहलाई वर्कपीस सफा गर्न प्रयोग गर्न सक्छ, यसले कोटिंग र सहायक निक्षेपमा पनि भाग लिन सक्छ।
म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंग मेसिनमा आर्क डिस्चार्ज पावर स्रोत थप्नुहोस्, जुन सानो आर्क स्रोत, आयताकार प्लानर आर्क स्रोत, वा बेलनाकार क्याथोड आर्क स्रोत हुन सक्छ। क्याथोड आर्क स्रोतद्वारा उत्पन्न उच्च-घनत्व इलेक्ट्रोन प्रवाहले म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंगको सम्पूर्ण प्रक्रियामा निम्न भूमिका खेल्न सक्छ:
१. वर्कपीस सफा गर्नुहोस्। कोटिंग गर्नु अघि, क्याथोड आर्क स्रोत, आदि खोल्नुहोस्, आर्क इलेक्ट्रोन प्रवाहको साथ ग्यासलाई आयनाइज गर्नुहोस्, र कम ऊर्जा र उच्च घनत्व आर्गन आयनहरू प्रयोग गरेर वर्कपीस सफा गर्नुहोस्।
२. आर्क स्रोत र चुम्बकीय नियन्त्रण लक्ष्य एकसाथ लेपित हुन्छन्। जब ग्लो डिस्चार्ज भएको म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ लक्ष्य कोटिंगको लागि सक्रिय हुन्छ, क्याथोड आर्क स्रोत पनि सक्रिय हुन्छ, र दुबै कोटिंग स्रोतहरू एकैसाथ लेपित हुन्छन्। जब म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ लक्ष्य सामग्री र आर्क स्रोत लक्ष्य सामग्रीको संरचना फरक हुन्छ, फिल्मको धेरै तहहरू प्लेट गर्न सकिन्छ, र क्याथोड आर्क स्रोतद्वारा जम्मा गरिएको फिल्म तह बहु-तह फिल्ममा एक इन्टरलेयर हुन्छ।
३. क्याथोड आर्क स्रोतले कोटिंगमा भाग लिँदा उच्च-घनत्व इलेक्ट्रोन प्रवाह प्रदान गर्दछ, स्पटर गरिएको धातु फिल्म तह परमाणुहरू र प्रतिक्रिया ग्याँसहरूसँग टक्करको सम्भावना बढाउँछ, निक्षेप दर, धातु आयनीकरण दरमा सुधार गर्दछ, र निक्षेपणलाई सहयोग गर्न भूमिका खेल्छ।
म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंग मेसिनमा कन्फिगर गरिएको क्याथोड आर्क स्रोतले सफाई स्रोत, कोटिंग स्रोत र आयनीकरण स्रोतलाई एकीकृत गर्दछ, आर्क प्लाज्मामा आर्क इलेक्ट्रोन प्रवाहको उपयोग गरेर म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंगको गुणस्तर सुधार गर्न सकारात्मक भूमिका खेल्छ।
पोस्ट समय: जुन-२१-२०२३