Үнэн хэрэгтээ, ион цацрагийн тусламжтайгаар хуримтлуулах технологи нь нийлмэл технологи юм. Энэ нь ионы суулгац ба физикийн уурын хальсыг нэгтгэсэн гадаргуугийн ионы нийлмэл эмчилгээний арга бөгөөд шинэ төрлийн ионы цацрагийн гадаргуугийн оновчлолын техник юм. Физик уурын хуримтлалын давуу талуудаас гадна энэ техник нь илүү хатуу хяналтын нөхцөлд ямар ч зузаантай хальсыг тасралтгүй ургуулж, хальсны давхаргын талстжилт, чиглэлийг мэдэгдэхүйц сайжруулж, хальсны давхарга/субстратын наалдамхай бат бэхийг нэмэгдүүлж, хальсны давхаргын нягтралыг сайжруулж, хамгийн тохиромжтой стехиометрийн харьцаатай нийлмэл хальсыг нэгтгэж, тасалгааны ойролцоох температур, шинэ даралтын температурт хальсыг олж авах боломжгүй юм. Ионы цацрагийн тусламжтайгаар тунадас нь ион суулгах процессын давуу талыг хадгалахаас гадна субстратыг субстратаас огт өөр хальсаар бүрхэж болно.
Бүх төрлийн физик уурын хуримтлал ба химийн уурын хуримтлалд IBAD системийг бий болгохын тулд туслах бөмбөгдөлт ионы бууг нэмж оруулах боломжтой бөгөөд IBAD-ийн ерөнхий хоёр процессыг Зураг дээр үзүүлэв.
Зураг (a)-д үзүүлсэнчлэн электрон цацрагийн ууршилтын эх үүсвэрийг ионы буунаас ялгарах ионы туяагаар хальсны давхаргыг гэрэлтүүлэхэд ашигладаг бөгөөд ингэснээр ионы цацрагийн тусламжтайгаар хуримтлал үүсгэдэг. Давуу тал нь ионы цацрагийн энерги, чиглэлийг тохируулах боломжтой боловч ууршилтын эх үүсвэр болгон зөвхөн нэг буюу хязгаарлагдмал хайлш, эсвэл нэгдлийг ашиглах боломжтой бөгөөд хайлшийн бүрэлдэхүүн хэсэг, нэгдлийн уурын даралт тус бүрийн хувьд өөр өөр байдаг нь ууршилтын эх үүсвэрийн анхны найрлагын хальсан давхаргыг олж авахад хүндрэл учруулдаг.
Зураг (б) нь ионы цацраг цацруулагч бодисыг эх үүсвэр болгон ашигладаг давхар ионы цацрагийн хуримтлал гэгддэг ионы цацраг цацруулагч бодисыг харуулж байна. Үүнийг субстрат дээр байрлуулахдаа ионы цацраг цацах тусламжтайгаар өөр ионы эх үүсвэртэй цацраг туяагаар цацруулдаг. Энэ аргын давуу тал нь цацагдсан хэсгүүд нь өөрөө тодорхой энергитэй байдаг тул субстраттай илүү сайн наалддаг; Зорилтот хэсгийн аль ч бүрэлдэхүүн хэсэг нь шүршигч бүрээстэй байхаас гадна хальсанд шүрших урвал байж болно, хальсны найрлагыг тохируулахад хялбар байдаг, гэхдээ түүний хуримтлуулах үр ашиг бага, зорилтот өртөг өндөр, сонгомол шүрших зэрэг асуудал гардаг.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 11-р сарын 08-ны өдөр