Нуман цэнэгийн тэжээлийн хангамж бүхий Магнетрон цацах бүрхүүлийг сайжруулах

Магнетрон шүрших бүрэх нь гялалзах гүйдлийн гүйдлийн нягтрал багатай, бүрэх камерт бага плазмын нягтралтайгаар хийгддэг. Энэ нь магнетрон шүрших технологи нь хальсан субстратыг холбох хүч бага, металлын иончлолын хурд бага, тунадасжилт бага зэрэг сул талуудтай болгодог. Магнетрон цацах бүрэх машинд нуман гадагшлуулах төхөөрөмж нэмэгдсэн бөгөөд энэ нь нуман цэнэгийн улмаас үүссэн нумын плазм дахь өндөр нягтралтай электрон урсгалыг ашиглан бэлдэцийг цэвэрлэхээс гадна бүрэх болон туслах хуримтлалд оролцох боломжтой.

Жижиг нумын эх үүсвэр, тэгш өнцөгт хавтгай нумын эх үүсвэр эсвэл цилиндр катодын нумын эх үүсвэр байж болох магнетрон цацах бүрэх машинд нумын цэнэгийн тэжээлийн эх үүсвэрийг нэмнэ. Катодын нумын эх үүсвэрээс үүссэн өндөр нягтралтай электрон урсгал нь магнетрон цацах бүх үйл явцад дараахь үүрэг гүйцэтгэдэг.
1. Ажлын хэсгийг цэвэрлэ. Бүрэхийн өмнө катодын нумын эх үүсвэрийг асаах, хийг нумын электрон урсгалаар ионжуулж, ажлын хэсгийг бага энерги, өндөр нягтралтай аргон ионоор цэвэрлэнэ.
2. Нумын эх үүсвэр болон соронзон хяналтын бай нь хамт бүрсэн байна. Гялалзах цэнэгтэй магнетрон цацах зорилтыг бүрэхийн тулд идэвхжүүлсэн тохиолдолд катодын нумын эх үүсвэрийг идэвхжүүлж, бүрэх эх үүсвэр хоёулаа нэгэн зэрэг бүрсэн байна. Магнетрон цацах зорилтот материал ба нумын эх үүсвэрийн зорилтот материалын найрлага өөр байвал олон давхар хальсыг бүрэх боломжтой бөгөөд катодын нумын эх үүсвэрээс үүссэн хальсан давхарга нь олон давхаргат хальсан доторх давхарга болдог.
3. Катодын нумын эх үүсвэр нь бүрэх явцад өндөр нягтралтай электрон урсгалыг хангаж, цацагдсан металлын хальс давхаргын атом ба урвалын хийтэй мөргөлдөх магадлалыг нэмэгдүүлж, тунадасжилтын хурд, металлын иончлолын хурдыг сайжруулж, тунадасжилтыг дэмжих үүрэг гүйцэтгэдэг.

Магнетрон цацах бүрэх машинд тохируулсан катодын нумын эх үүсвэр нь цэвэрлэх эх үүсвэр, бүрэх эх үүсвэр, иончлолын эх үүсвэрийг нэгтгэж, нумын плазм дахь нумын электрон урсгалыг ашиглан магнетрон цацах бүрхүүлийн чанарыг сайжруулахад эерэг үүрэг гүйцэтгэдэг.