വാസ്തവത്തിൽ, അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നോളജി ഒരു കോമ്പോസിറ്റ് ടെക്നോളജിയാണ്. അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷനും ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ ഫിലിം ടെക്നോളജിയും, പുതിയ തരം അയോൺ ബീം സർഫസ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ ടെക്നിക്കുകളും സംയോജിപ്പിക്കുന്ന ഒരു കോമ്പോസിറ്റ് സർഫസ് അയോൺ ട്രീറ്റ്മെന്റ് ടെക്നിക്കാണിത്. ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷന്റെ ഗുണങ്ങൾക്ക് പുറമേ, കൂടുതൽ കർശനമായ നിയന്ത്രണ സാഹചര്യങ്ങളിൽ ഏത് കട്ടിയുള്ള ഫിലിമും തുടർച്ചയായി വളർത്താനും, ഫിലിം ലെയറിന്റെ ക്രിസ്റ്റലിനിറ്റിയും ഓറിയന്റേഷനും കൂടുതൽ ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്താനും, ഫിലിം ലെയറിന്റെ/സബ്സ്ട്രേറ്റിന്റെ അഡീഷൻ ശക്തി വർദ്ധിപ്പിക്കാനും, ഫിലിം ലെയറിന്റെ സാന്ദ്രത മെച്ചപ്പെടുത്താനും, മുറിയുടെ താപനിലയിലും മർദ്ദത്തിലും ലഭിക്കാത്ത പുതിയ തരം ഫിലിമുകൾ ഉൾപ്പെടെ, മുറിയുടെ അടുത്തുള്ള താപനിലയിൽ അനുയോജ്യമായ സ്റ്റോയ്ചിയോമെട്രിക് അനുപാതങ്ങളുള്ള കോമ്പൗണ്ട് ഫിലിമുകൾ സമന്വയിപ്പിക്കാനും ഈ ടെക്നിക്കിന് കഴിയും. അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ പ്രക്രിയയുടെ ഗുണങ്ങൾ നിലനിർത്തുക മാത്രമല്ല, അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിന്ന് തികച്ചും വ്യത്യസ്തമായ ഒരു ഫിലിം ഉപയോഗിച്ച് അടിവസ്ത്രത്തെ മൂടാനും കഴിയും.
എല്ലാത്തരം ഭൗതിക നീരാവി നിക്ഷേപത്തിലും രാസ നീരാവി നിക്ഷേപത്തിലും, ഒരു കൂട്ടം സഹായ ബോംബാർഡ്മെന്റ് അയോൺ തോക്കുകൾ ചേർത്ത് ഒരു IBAD സിസ്റ്റം രൂപപ്പെടുത്താം, കൂടാതെ ചിത്രത്തിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ രണ്ട് പൊതുവായ IBAD പ്രക്രിയകൾ താഴെ കൊടുക്കുന്നു:
ചിത്രം (എ) യിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ, അയോൺ ഗണ്ണിൽ നിന്ന് പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന അയോൺ ബീം ഉപയോഗിച്ച് ഫിലിം പാളിയെ വികിരണം ചെയ്യാൻ ഒരു ഇലക്ട്രോൺ ബീം ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് ഉപയോഗിക്കുന്നു, അങ്ങനെ അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം യാഥാർത്ഥ്യമാകുന്നു. അയോൺ ബീം ഊർജ്ജവും ദിശയും ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും, എന്നാൽ ഒരൊറ്റ അല്ലെങ്കിൽ പരിമിതമായ അലോയ് അല്ലെങ്കിൽ സംയുക്തം മാത്രമേ ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സായി ഉപയോഗിക്കാൻ കഴിയൂ എന്നതാണ് ഇതിന്റെ ഗുണം, കൂടാതെ അലോയ് ഘടകത്തിന്റെയും സംയുക്തത്തിന്റെയും ഓരോ നീരാവി മർദ്ദവും വ്യത്യസ്തമാണ്, ഇത് യഥാർത്ഥ ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് ഘടനയുടെ ഫിലിം പാളി ലഭിക്കുന്നത് ബുദ്ധിമുട്ടാക്കുന്നു.
ചിത്രം (ബി) അയോൺ ബീം സ്പട്ടറിംഗ്-അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ കാണിക്കുന്നു, ഇത് ഇരട്ട അയോൺ ബീം സ്പട്ടറിംഗ് ഡിപ്പോസിഷൻ എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു, ഇതിൽ അയോൺ ബീം സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ലക്ഷ്യം, സ്പട്ടറിംഗ് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഉറവിടമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇത് അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുമ്പോൾ, മറ്റൊരു അയോൺ സ്രോതസ്സ് ഉപയോഗിച്ച് വികിരണം ചെയ്യുന്നതിലൂടെയാണ് അയോൺ ബീം സ്പട്ടറിംഗ് അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ നേടുന്നത്. സ്പട്ടർ ചെയ്ത കണികകൾക്ക് തന്നെ ഒരു നിശ്ചിത ഊർജ്ജം ഉണ്ട് എന്നതാണ് ഈ രീതിയുടെ പ്രയോജനം, അതിനാൽ അടിവസ്ത്രവുമായി മികച്ച അഡീഷൻ ഉണ്ട്; ടാർഗെറ്റിന്റെ ഏത് ഘടകവും സ്പട്ടർ ചെയ്ത കോട്ടിംഗ് ആകാം, മാത്രമല്ല ഫിലിമിലേക്ക് റിയാക്ഷൻ സ്പട്ടറിംഗ് ആകാം, ഫിലിമിന്റെ ഘടന ക്രമീകരിക്കാൻ എളുപ്പമാണ്, പക്ഷേ അതിന്റെ ഡിപ്പോസിഷൻ കാര്യക്ഷമത കുറവാണ്, ലക്ഷ്യം ചെലവേറിയതാണ്, കൂടാതെ സെലക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് പോലുള്ള പ്രശ്നങ്ങളുമുണ്ട്.
പോസ്റ്റ് സമയം: നവംബർ-08-2022