ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് പവർ സപ്ലൈ ഉപയോഗിച്ച് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു

മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിൽ നടത്തുന്നു, കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിൽ കുറഞ്ഞ ഡിസ്ചാർജ് കറന്റ് സാന്ദ്രതയും കുറഞ്ഞ പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രതയും ഉണ്ട്. ഇത് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് കുറഞ്ഞ ഫിലിം സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ബോണ്ടിംഗ് ഫോഴ്‌സ്, കുറഞ്ഞ ലോഹ അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക്, കുറഞ്ഞ ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക് തുടങ്ങിയ ദോഷങ്ങളുണ്ടാക്കുന്നു. മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീനിൽ, ഒരു ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് ഉപകരണം ചേർത്തിട്ടുണ്ട്, ഇത് ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് വഴി സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്ന ആർക്ക് പ്ലാസ്മയിലെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ഇലക്ട്രോൺ ഫ്ലോ ഉപയോഗിച്ച് വർക്ക്പീസ് വൃത്തിയാക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ കോട്ടിംഗിലും സഹായ നിക്ഷേപത്തിലും പങ്കെടുക്കാനും ഇതിന് കഴിയും.

മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീനിൽ ഒരു ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് പവർ സ്രോതസ്സ് ചേർക്കുക, അത് ഒരു ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സ്, ഒരു ദീർഘചതുരാകൃതിയിലുള്ള പ്ലാനർ ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് അല്ലെങ്കിൽ ഒരു സിലിണ്ടർ കാഥോഡ് ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് ആകാം. കാഥോഡ് ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് സൃഷ്ടിക്കുന്ന ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹത്തിന് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ മുഴുവൻ പ്രക്രിയയിലും ഇനിപ്പറയുന്ന പങ്ക് വഹിക്കാൻ കഴിയും:
1. വർക്ക്പീസ് വൃത്തിയാക്കുക. കോട്ടിംഗ് നടത്തുന്നതിന് മുമ്പ്, കാഥോഡ് ആർക്ക് ഉറവിടം മുതലായവ ഓണാക്കുക, ആർക്ക് ഇലക്ട്രോൺ ഫ്ലോ ഉപയോഗിച്ച് വാതകത്തെ അയോണൈസ് ചെയ്യുക, കുറഞ്ഞ ഊർജ്ജവും ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ആർഗോൺ അയോണുകളും ഉപയോഗിച്ച് വർക്ക്പീസ് വൃത്തിയാക്കുക.
2. ആർക്ക് സ്രോതസ്സും കാന്തിക നിയന്ത്രണ ലക്ഷ്യവും ഒരുമിച്ച് പൂശിയിരിക്കുന്നു. ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് ഉള്ള മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് കോട്ടിംഗിനായി സജീവമാക്കുമ്പോൾ, കാഥോഡ് ആർക്ക് സ്രോതസ്സും സജീവമാക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ രണ്ട് കോട്ടിംഗ് സ്രോതസ്സുകളും ഒരേസമയം പൂശുന്നു. മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന്റെയും ആർക്ക് സോഴ്സ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന്റെയും ഘടന വ്യത്യസ്തമാകുമ്പോൾ, ഫിലിമിന്റെ ഒന്നിലധികം പാളികൾ പൂശാൻ കഴിയും, കൂടാതെ കാഥോഡ് ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് നിക്ഷേപിക്കുന്ന ഫിലിം പാളി മൾട്ടി-ലെയർ ഫിലിമിലെ ഒരു ഇന്റർലെയറാണ്.
3. കാഥോഡ് ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് കോട്ടിംഗിൽ പങ്കെടുക്കുമ്പോൾ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹം നൽകുന്നു, സ്പട്ടർ ചെയ്ത ലോഹ ഫിലിം പാളി ആറ്റങ്ങളുമായും പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകങ്ങളുമായും കൂട്ടിയിടിക്കാനുള്ള സാധ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു, നിക്ഷേപ നിരക്ക്, ലോഹ അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് എന്നിവ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു, നിക്ഷേപത്തെ സഹായിക്കുന്നതിൽ ഒരു പങ്കു വഹിക്കുന്നു.

മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീനിൽ കോൺഫിഗർ ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന കാഥോഡ് ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് ഒരു ക്ലീനിംഗ് സ്രോതസ്സ്, കോട്ടിംഗ് സ്രോതസ്സ്, അയോണൈസേഷൻ സ്രോതസ്സ് എന്നിവ സംയോജിപ്പിച്ച്, ആർക്ക് പ്ലാസ്മയിലെ ആർക്ക് ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹം ഉപയോഗിച്ച് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിൽ ഒരു നല്ല പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.