Ny coating magnetron sputtering dia atao amin'ny alàlan'ny famirapiratana, miaraka amin'ny hakitroky amin'izao fotoana izao sy ny hakitroky ny plasma ambany ao amin'ny efitrano fanosotra. Izany dia mahatonga ny magnetron sputtering teknolojia manana fatiantoka toy ny ambany sarimihetsika substrate hery fatorana, ambany metaly ionization tahan'ny, ary ambany deposition tahan'ny. Ao amin'ny magnetron sputtering coating milina, dia ampiana arc discharge fitaovana, izay afaka mampiasa ny avo lenta ny electron fikorianan'ny ao amin'ny arc ranon-dra vokatry ny arc discharge mba hanadiovana ny workpiece, dia afaka mandray anjara amin'ny coating sy fanampiny deposition.
Manampia loharanon-kery famotsorana arc ao amin'ny milina fanasan-damba magnetron sputtering, izay mety ho loharano arc kely, loharano arc planar mahitsizoro, na loharano arc cathode cylindrical. Ny fikorianan'ny elektrônika avo lenta ateraky ny loharano cathode arc dia afaka mitana ireto andraikitra manaraka ireto amin'ny dingan'ny magnetron sputtering coating:
1. Diovy ny workpiece. Alohan'ny coating, velomy ny cathode arc loharano, sns, ionize ny entona amin'ny arc electron fikorianan'ny, ary manadio ny workpiece amin'ny angovo ambany sy avo hakitroky argon ion.
2. Ny loharano arc sy ny kendrena fanaraha-maso andriamby dia mifono miaraka. Rehefa ny magnetron sputtering kendrena amin'ny famirapiratry ny entona dia mavitrika amin'ny coating, ny cathode arc loharanon-kery koa, ary ny roa coating loharano dia miaraka mifono. Rehefa tsy mitovy ny firafitry ny magnetron sputtering kendrena fitaovana sy ny arc loharano kendrena fitaovana, maro sosona ny sarimihetsika azo plated, ary ny sarimihetsika sosona napetraky ny cathode Arc loharano dia interlayer amin'ny multi-sosona sarimihetsika.
3. Ny loharanon'ny arc cathode dia manome ny fikorianan'ny elektronika avo lenta rehefa mandray anjara amin'ny coating, mampitombo ny mety hisian'ny fifandonana amin'ny atôma sy ny gaza misy ny sarimihetsika metaly sputtered, manatsara ny tahan'ny deposition, ny tahan'ny ionization metaly, ary mandray anjara amin'ny fanampiana deposition.
Ny loharanon'ny arc cathode voarindra ao amin'ny milina fanasan-damba magnetron dia mampiditra loharano fanadiovana, loharano fanosotra ary loharano ionization, mitana anjara toerana tsara amin'ny fanatsarana ny kalitaon'ny fametahana magnetron amin'ny alàlan'ny fampiasana ny fikorianan'ny arc electron ao amin'ny plasma Arc.
Fotoana fandefasana: Jun-21-2023