Patiesībā jonu kūļa veicinātā uzklāšanas tehnoloģija ir kompozītu tehnoloģija. Tā ir kompozītu virsmas jonu apstrādes metode, kas apvieno jonu implantācijas un fizikālās tvaiku uzklāšanas plēves tehnoloģiju, kā arī jauna veida jonu kūļa virsmas optimizācijas metode. Papildus fizikālās tvaiku uzklāšanas priekšrocībām šī metode ļauj nepārtraukti audzēt jebkura biezuma plēvi stingrākos kontroles apstākļos, ievērojami uzlabot plēves slāņa kristāliskumu un orientāciju, palielināt plēves slāņa/substrāta adhēzijas stiprību, uzlabot plēves slāņa blīvumu un sintezēt saliktas plēves ar ideālām stehiometriskām attiecībām gandrīz istabas temperatūrā, tostarp jauna veida plēves, kuras nevar iegūt istabas temperatūrā un spiedienā. Jonu kūļa veicinātā uzklāšana ne tikai saglabā jonu implantācijas procesa priekšrocības, bet arī var pārklāt substrātu ar pilnīgi atšķirīgu plēvi no substrāta.
Visu veidu fizikālajā tvaiku pārklāšanā un ķīmiskajā tvaiku pārklāšanā IBAD sistēmas izveidei var pievienot papildu bombardēšanas jonu lielgabalu komplektu, un ir divi vispārīgi IBAD procesi, kā parādīts attēlā:
Kā parādīts a) attēlā, elektronu stara iztvaikošanas avots tiek izmantots, lai apstarotu plēves slāni ar jonu kūli, ko izstaro jonu lielgabals, tādējādi realizējot jonu stara palīdzību veiktu nogulsnēšanos. Priekšrocība ir tāda, ka jonu stara enerģiju un virzienu var regulēt, bet kā iztvaikošanas avotu var izmantot tikai vienu vai ierobežotu sakausējumu vai savienojumu, un katra sakausējuma komponenta un savienojuma tvaika spiediens ir atšķirīgs, kas apgrūtina plēves slāņa iegūšanu ar sākotnējo iztvaikošanas avota sastāvu.
(b) attēlā redzama jonu kūļa izsmidzināšanas veicināta uzklāšana, kas pazīstama arī kā dubultā jonu kūļa izsmidzināšanas uzklāšana, kurā mērķis ir izgatavots no jonu kūļa izsmidzināšanas pārklājuma materiāla, un izsmidzināšanas produkti tiek izmantoti kā avots. Uzklājot to uz substrāta, jonu kūļa izsmidzināšanas veicināta uzklāšana tiek panākta, apstarojot ar citu jonu avotu. Šīs metodes priekšrocība ir tā, ka pašām izsmidzināšanas daļiņām ir noteikta enerģija, tāpēc ir labāka saķere ar substrātu; jebkuru mērķa komponentu var pārklāt ar uzsmidzināšanas metodi, bet to var arī reakcijas izsmidzināšanas ceļā ievietot plēvē, viegli regulējot plēves sastāvu, taču uzklāšanas efektivitāte ir zema, mērķis ir dārgs un pastāv tādas problēmas kā selektīva izsmidzināšana.
Publicēšanas laiks: 2022. gada 8. novembris