Iš tiesų, jonų pluošto pagalba nusodinimo technologija yra kompozicinė technologija. Tai kompozitinė paviršiaus jonų apdorojimo technika, apjungianti jonų implantacijos ir fizikinio garų nusodinimo plėvelės technologijas, ir naujo tipo jonų pluošto paviršiaus optimizavimo technika. Be fizikinio garų nusodinimo privalumų, ši technika leidžia nuolat auginti bet kokio storio plėvelę griežtesnėmis kontrolės sąlygomis, žymiai pagerinti plėvelės sluoksnio kristališkumą ir orientaciją, padidinti plėvelės sluoksnio ir pagrindo sukibimo stiprumą, pagerinti plėvelės sluoksnio tankį ir susintetinti sudėtines plėveles su idealiais stechiometriniais santykiais beveik kambario temperatūroje, įskaitant naujo tipo plėveles, kurių negalima gauti kambario temperatūroje ir slėgyje. Jonų pluošto pagalba nusodinant ne tik išlaikomi jonų implantacijos proceso privalumai, bet ir galima padengti pagrindą visiškai kita plėvele nei pagrindas.
Visų rūšių fizikiniame ir cheminiame garų nusodinime galima pridėti pagalbinių bombardavimo jonų patrankų rinkinį, kad būtų suformuota IBAD sistema, ir yra du bendri IBAD procesai, kaip parodyta paveikslėlyje:
Kaip parodyta a paveiksle, elektronų pluošto garinimo šaltinis naudojamas plėvelės sluoksniui apšvitinti jonų spinduliuote, skleidžiama iš jonų patrankos, taip realizuojant jonų pluoštu paremtą nusodinimą. Privalumas tas, kad galima reguliuoti jonų pluošto energiją ir kryptį, tačiau kaip garinimo šaltinis gali būti naudojamas tik vienas arba ribotas lydinys arba junginys, o kiekvieno lydinio komponento ir junginio garų slėgis yra skirtingas, todėl sunku gauti pradinės garinimo šaltinio sudėties plėvelės sluoksnį.
B paveikslėlyje parodytas jonų pluošto dulkinimo pagalba nusodinimas, dar žinomas kaip dvigubas jonų pluošto dulkinimo nusodinimas, kai taikinys pagamintas iš jonų pluošto dulkinimo dangos medžiagos, o dulkinimo produktai naudojami kaip šaltinis. Nusodinant jį ant pagrindo, jonų pluošto dulkinimo pagalba nusodinimas pasiekiamas apšvitinant kitu jonų šaltiniu. Šio metodo privalumas yra tas, kad pačios dulkinimo dalelės turi tam tikrą energiją, todėl geriau sukimbama su pagrindu; bet kuris taikinio komponentas gali būti padengtas dulkinimo danga, tačiau jį taip pat galima reakciniu būdu dulkinti į plėvelę, lengva reguliuoti plėvelės sudėtį, tačiau nusodinimo efektyvumas yra mažas, taikinys yra brangus, o problemos, tokios kaip selektyvus dulkinimas, yra tokios.
Įrašo laikas: 2022 m. lapkričio 8 d.