Magnetroninio dulkinimo dengimas atliekamas rusenančiojo išlydžio būdu, esant mažam išlydžio srovės tankiui ir mažam plazmos tankiui dengimo kameroje. Dėl to magnetroninio dulkinimo technologija turi trūkumų, tokių kaip maža plėvelės pagrindo sukibimo jėga, mažas metalo jonizacijos greitis ir mažas nusodinimo greitis. Magnetroninio dulkinimo mašinoje pridedamas lanko išlydžio įtaisas, kuris gali panaudoti lanko išlydžio sukuriamą didelio tankio elektronų srautą lanko plazmoje ruošiniui valyti. Jis taip pat gali dalyvauti dengimo ir pagalbiniame nusodinime.
Magnetroninio purškimo dengimo mašinoje įdiekite lanko išlydžio maitinimo šaltinį, kuris gali būti mažas lanko šaltinis, stačiakampis plokštuminis lanko šaltinis arba cilindrinis katodo lanko šaltinis. Katodo lanko šaltinio generuojamas didelio tankio elektronų srautas visame magnetroninio purškimo dengimo procese gali atlikti šiuos vaidmenis:
1. Nuvalykite ruošinį. Prieš dengdami įjunkite katodo lanko šaltinį ir pan., jonizuokite dujas lanko elektronų srautu ir nuvalykite ruošinį mažos energijos ir didelio tankio argono jonais.
2. Lanko šaltinis ir magnetinio valdymo taikinys padengiami kartu. Kai magnetroninio purškimo taikinys su rusenimo išlydžiu aktyvuojamas padengimui, taip pat aktyvuojamas katodo lanko šaltinis, ir abu padengimo šaltiniai padengiami vienu metu. Kai magnetroninio purškimo taikinio medžiagos ir lanko šaltinio taikinio medžiagos sudėtis skiriasi, galima padengti kelis plėvelės sluoksnius, o katodo lanko šaltinio nusodintas plėvelės sluoksnis yra tarpsluoksnis daugiasluoksnėje plėvelėje.
3. Katodo lanko šaltinis dengimo metu užtikrina didelio tankio elektronų srautą, padidindamas susidūrimo su purškiamo metalo plėvelės sluoksnio atomais ir reakcijos dujomis tikimybę, pagerindamas nusodinimo greitį, metalo jonizacijos greitį ir atlikdamas svarbų vaidmenį nusodinimo procese.
Magnetroninio purškimo dengimo mašinoje sukonfigūruotas katodo lanko šaltinis apima valymo šaltinį, dengimo šaltinį ir jonizacijos šaltinį, kurie atlieka teigiamą vaidmenį gerinant magnetroninio purškimo dengimo kokybę, panaudojant lanko elektronų srautą lanko plazmoje.
Įrašo laikas: 2023 m. birželio 21 d.