Чынында, ион нурунун жардамы менен жайгаштыруу технологиясы курама технология болуп саналат. Бул ионду имплантациялоону жана физикалык буу коюу пленка технологиясын жана ион нурунун беттик оптималдаштыруу техникасынын жаңы түрүн айкалыштырган курама беттик ионду тазалоо ыкмасы. Физикалык бууларды чөктүрүүнүн артыкчылыктарынан тышкары, бул ыкма катуу контролдоо шарттарында ар кандай калыңдыктагы пленканы тынымсыз өстүрө алат, пленка катмарынын кристаллдуулугун жана багытын кыйла жакшыртат, пленка катмарынын/субстраттын адгезия күчүн жогорулатат, пленка катмарынын тыгыздыгын жакшыртат, ошондой эле идеалдуу стехиометриялык катышы бар татаал пленкаларды синтездей алат, анын ичинде бөлмө температурасында жана бөлмөнүн жакын температурасында пленканын жаңы түрлөрүн алуу мүмкүн эмес. Ион нурунун жардамы менен жайгаштыруу иондук имплантация процессинин артыкчылыктарын гана сактап калбастан, субстратты субстраттан таптакыр башка пленка менен каптай алат.
Физикалык бууларды жайгаштыруунун жана химиялык буулардын бардык түрлөрүндө, IBAD системасын түзүү үчүн кошумча бомбалоочу ион мылтыктарынын топтомун кошууга болот жана сүрөттө көрсөтүлгөндөй, төмөнкүдөй эки жалпы IBAD процесси бар:
Сүрөттө (а) көрсөтүлгөндөй, электрон нурунун буулануу булагы пленка катмарын иондук тапанчадан чыккан ион нуру менен нурлантуу үчүн колдонулат, ошентип ион нурунун жардамы менен чөктүрүүнү ишке ашырат. Артыкчылыгы ион нурунун энергиясы жана багыты жөнгө салынышы мүмкүн, бирок буулануу булагы катары бир гана же чектелген эритме, же кошулма колдонулушу мүмкүн, ал эми эритме компонентинин жана кошулмасынын ар бир буу басымы ар түрдүү, бул баштапкы буулануу булагы курамынын пленка катмарын алууну кыйындатат.
Сүрөт (b) булак катары ион нурунун чачыраткыч каптоо материалынан жасалган максаттуу, чачыратуу продуктулары колдонулган кош ион нурунун чачыратуу катмары катары да белгилүү болгон ион нурунун чачырандысынын жардамы менен чөктүрүүнү көрсөтөт. Аны субстратка салууда, ион нурунун чачыратуусунун жардамы менен туташтыруу башка ион булагы менен нурлануу аркылуу ишке ашат. Бул ыкманын артыкчылыгы чачылган бөлүкчөлөрдүн өздөрү белгилүү бир энергияга ээ, ошондуктан субстрат менен жакшыраак жабышуусу болот; бутанын ар кандай компоненти чачыраган каптоо болушу мүмкүн, бирок ошондой эле пленканын курамын жөнгө салуу оңой, бирок анын жайгаштыруу эффективдүүлүгү төмөн, максат кымбат жана тандалма чачуу сыяктуу көйгөйлөр бар.
Посттун убактысы: 2022-жылдын 08-ноябры