Магнетронду чачыратуу каптоо жаркыраган разрядда, разряддын агымынын тыгыздыгы аз жана каптоо камерасында плазманын тыгыздыгы аз болгон учурда жүргүзүлөт. Бул магнетронду чачыратуу технологиясын төмөнкү пленка субстраттарын бириктирүү күчү, металлды иондоштуруунун төмөн ылдамдыгы жана төмөн түшүрүү ылдамдыгы сыяктуу кемчиликтерге ээ кылат. Магнетронду чачыраткыч каптоочу машинада дога разряддоочу түзүлүш кошулат, ал дога разрядынан пайда болгон жаа плазмасында жогорку тыгыздыктагы электрондун агымын бөлүкчөлөрдү тазалоо үчүн колдоно алат, ошондой эле каптоо жана көмөкчү чөктүрүүгө катыша алат.
Магнетронду чачыраткыч каптоочу машинага дога разрядынын кубат булагын кошуңуз, ал кичинекей жаа булагы, тик бурчтуу тегиздик дога булагы же цилиндрлик катоддук жаа булагы болушу мүмкүн. Катоддук жаа булагы тарабынан түзүлгөн жогорку тыгыздыктагы электрон агымы магнетронду чачыратуу каптоо процессинде төмөнкү ролдорду аткарышы мүмкүн:
1. Даярдоо бөлүгүн тазалаңыз. Каптоодон мурун катод догасынын булагын күйгүзүңүз ж.б., газды догалык электрондун агымы менен иондоштуруу, жана даярдалган бөлүгүн аз энергия жана жогорку тыгыздыктагы аргон иондору менен тазалоо.
2. Жаа булагы жана магниттик башкаруу бутасы бирге капталган. Магнетрондун жаркыраган разряды менен чачыратуу бутасы каптоо үчүн иштетилгенде, катоддук жаа булагы да иштетилет жана эки каптоо булагы бир убакта капталат. Магнетронду чачыратуу максаттуу материалдын жана жаа булагы максаттуу материалдын курамы ар кандай болгондо, пленканын бир нече катмарын каптаса болот, ал эми катоддун жаасы булагы тарабынан салынган пленка катмары көп катмарлуу пленканын бир катмары болуп саналат.
3. Катоддук жаа булагы каптоого катышканда жогорку тыгыздыктагы электрондун агымын камсыздайт, чачыраган металл пленка катмарынын атомдору жана реакция газдары менен кагылышуу ыктымалдыгын жогорулатат, чөктүрүүнүн ылдамдыгын, металлдын иондошуу ылдамдыгын жакшыртат жана чөктүрүүгө көмөктөшүүчү ролду ойнойт.
Магнетронду чачыратуу каптоочу машинада конфигурацияланган катоддук жаа булагы тазалоо булагын, каптоо булагын жана иондоштуруу булагын бириктирип, дога плазмасындагы дога электронунун агымын колдонуу менен магнетронду чачыратуу каптамасынын сапатын жакшыртууда оң роль ойнойт.
Посттун убактысы: 21-июнь-2023