Teknolojiya depokirina bi alîkariya tîrêjên îyonê

Bi rastî, teknolojiya danîna bi alîkariya tîrêjên îyonê teknolojiyeke kompozît e. Ew teknîkeke dermankirina îyonê ya rûyê kompozît e ku çandina îyonê û teknolojiya fîlmê danîna buhara fîzîkî, û teknîkeke nû ya çêtirkirina rûyê tîrêjên îyonê bi hev re dike yek. Ji bilî avantajên danîna buhara fîzîkî, ev teknîk dikare her fîlmek stûr di bin şert û mercên kontrolê yên dijwartir de bi berdewamî mezin bike, krîstalînîtî û arasteya qata fîlmê bi girîngî baştir bike, hêza zeliqandina qata fîlm/substratê zêde bike, tîrbûna qata fîlmê baştir bike, û fîlmên tevlihev bi rêjeyên stoîkyometrîk ên îdeal li nêzîkî germahiya odeyê sentez bike, di nav de celebên nû yên fîlman ku di germahiya odeyê û zextê de nayên bidestxistin. Dana bi alîkariya tîrêjên îyonê ne tenê avantajên pêvajoya çandina îyonê diparêze, lê di heman demê de dikare substratê bi fîlmek bi tevahî cûda ji substratê veşêre.
Di hemû cureyên danîna buhara fîzîkî û danîna buhara kîmyewî de, komek ji çekên îyonê yên bombebarana alîkar dikarin werin zêdekirin da ku pergalek IBAD-ê ava bikin, û du pêvajoyên IBAD-ê yên giştî hene, wekî ku di Wêne de tê xuyang kirin:

Wekî ku di Wêne (a) de tê nîşandan, çavkaniyek buharbûna tîrêjên elektronan tê bikar anîn da ku qata fîlmê bi tîrêjên îyonê yên ji çeka îyonê têne derxistin tîrêj bike, bi vî rengî depoya bi alîkariya tîrêjên îyonê pêk tê. Awantaj ev e ku enerjî û rêça tîrêjên îyonê dikare were verast kirin, lê tenê alloyek an pêkhateyek bi sînor dikare wekî çavkaniya buharbûnê were bikar anîn, û zexta buharê ya pêkhateya alloy û pêkhateyê cûda ye, ku ev yek zehmet dike ku qata fîlmê ya pêkhateya çavkaniya buharbûna orîjînal bi dest bixe.
Wêne (b) danîna bi alîkariya sputterkirina tîrêjên îyonî nîşan dide, ku wekî danîna sputterkirina tîrêjên îyonî yên ducar jî tê zanîn, ku tê de hedef ji materyalê pêçandina sputterkirina tîrêjên îyonî hatiye çêkirin, berhemên sputterkirinê wekî çavkanî têne bikar anîn. Dema ku ew li ser substratê tê danîn, danîna bi alîkariya sputterkirina tîrêjên îyonî bi tîrêjkirinê bi çavkaniyek din a îyonê ve tê bidestxistin. Avantaja vê rêbazê ev e ku perçeyên sputterkirî bi xwe xwedî enerjiyek diyarkirî ne, ji ber vê yekê bi substratê re girêdanek çêtir heye; her pêkhateyek hedefê dikare were pêçandin, lê di heman demê de dikare bi sputterkirina reaksiyonê di nav fîlimê de were avêtin, pêkhateya fîlimê hêsan tê sererast kirin, lê karîgeriya danîna wê kêm e, hedef biha ye û pirsgirêkên wekî sputterkirina bijartî hene.