Pêçandina bi magnetronê di dema daxistina şewqê de tê kirin, bi dendika herika daxistinê ya nizm û dendika plazmayê ya nizm di odeya pêçandinê de. Ev yek dibe sedema dezavantajên teknolojiya pêçandina magnetronê wekî hêza girêdana substrata fîlmê ya nizm, rêjeya îyonîzasyona metalê ya nizm, û rêjeya danîna nizm. Di makîneya pêçandina bi magnetronê de, amûrek daxistina kevanê tê zêdekirin, ku dikare herikîna elektrona dendika bilind a di plazmaya kevanê de ku ji hêla daxistina kevanê ve hatî çêkirin bikar bîne da ku perçeya kar paqij bike, ew dikare di pêçandin û danîna alîkar de jî beşdar bibe.
Çavkaniyek hêza dakêşana kevanê li makîneya pêçandina magnetronê zêde bikin, ku dikare çavkaniyek kevanek piçûk, çavkaniyek kevanek çargoşeyî ya planar, an çavkaniyek kevanek katodê ya silindirî be. Herikîna elektrona bi dendika bilind a ku ji hêla çavkaniya kevana katodê ve tê hilberandin dikare di tevahiya pêvajoya pêçandina magnetronê de rolên jêrîn bilîze:
1. Perçeya kar paqij bike. Berî boyaxkirinê, çavkaniya kevana katodê û hwd. vêxe, gazê bi herikîna elektrona kevanê iyonîze bike, û perçeya kar bi iyonên argonê yên enerjiya kêm û densiteya bilind paqij bike.
2. Çavkaniya kevanê û hedefa kontrola magnetîkî bi hev re têne pêçandin. Dema ku hedefa sputterkirina magnetronê bi derxistina şewqê ji bo pêçandinê tê çalakkirin, çavkaniya kevana katodê jî tê çalakkirin, û her du çavkaniyên pêçandinê di heman demê de têne pêçandin. Dema ku pêkhateya materyalê hedefa sputterkirina magnetronê û materyalê hedefa çavkaniya kevanê ji hev cûda be, gelek tebeqeyên fîlmê dikarin werin pêçandin, û tebeqeya fîlmê ya ku ji hêla çavkaniya kevana katodê ve hatî razandin di nav fîlma pir-tebeqeyî de tebeqeyek e.
3. Çavkaniya kevana katodê dema ku beşdarî pêçandinê dibe herikîna elektronên bi dendika bilind peyda dike, îhtîmala pevçûnê bi atomên qata fîlma metalê ya sputterkirî û gazên reaksiyonê zêde dike, rêjeya danînê, rêjeya îyonîzasyona metal baştir dike, û di alîkariya danînê de rolek dilîze.
Çavkaniya kevana katodê ya ku di makîneya pêçandina magnetronê de hatîye mîhengkirin çavkaniyek paqijkirinê, çavkaniya pêçandinê, û çavkaniya îyonîzasyonê entegre dike, û bi karanîna herikîna elektrona kevanê di plazmaya kevanê de rolek erênî di baştirkirina kalîteya pêçandina magnetronê de dilîze.
Dema weşandinê: 21ê Hezîrana 2023an