Магнетронды шашырату жабыны жарқырауды разрядта, разрядтық токтың төмен тығыздығымен және жабу камерасында төмен плазмалық тығыздықпен жүзеге асырылады. Бұл магнетронды шашырату технологиясының төмен пленкалық субстратты байланыстыру күші, төмен металды иондау жылдамдығы және төмен тұндыру жылдамдығы сияқты кемшіліктерге ие етеді. Магнетронды шашыратқыш жабын машинасына доғалық разрядтау құрылғысы қосылады, ол дайындаманы тазарту үшін доғалық разряд арқылы пайда болатын доға плазмасында жоғары тығыздықтағы электрон ағынын пайдалана алады, сонымен қатар жабынға және қосалқы тұндыруға қатыса алады.
Магнетронды шашыратқыш қаптау машинасына доғалық разрядтық қуат көзін қосыңыз, ол кішкентай доға көзі, тікбұрышты жазық доға көзі немесе цилиндрлік катод доға көзі болуы мүмкін. Катодты доға көзі тудыратын жоғары тығыздықты электрон ағыны магнетронды шашырату жабынының бүкіл процесінде келесі рөлдерді атқара алады:
1. Дайындаманы тазалаңыз. Қаптау алдында катодты доға көзін қосу және т.б., доғаның электрон ағынымен газды ионизациялау, ал дайындаманы төмен энергиямен және жоғары тығыздықтағы аргон иондарымен тазалау.
2. Доға көзі мен магнитті басқару нысаны бірге қапталған. Жарқырауы бар магнетронды шашырату нысанасы жабу үшін белсендірілгенде, катодты доға көзі де іске қосылады және екі жабын көзі бір уақытта қапталады. Магнетронды шашырататын мақсатты материал мен доға көзінің мақсатты материалының құрамы әртүрлі болған кезде, пленканың бірнеше қабаттарын жабуға болады, ал катодты доға көзімен тұндырылған пленка қабаты көп қабатты пленкадағы аралық қабат болып табылады.
3. Катодты доға көзі қаптауға қатысу кезінде жоғары тығыздықты электрон ағынын қамтамасыз етеді, шашыраған металл қабықша қабатының атомдарымен және реакциялық газдармен соқтығысу ықтималдығын арттырады, тұндыру жылдамдығын, металдың иондану жылдамдығын жақсартады және тұндыруға көмектесетін рөл атқарады.
Магнетронды шашыратқыш қаптау машинасында конфигурацияланған катодты доға көзі тазарту көзін, жабын көзін және иондану көзін біріктіреді, доға плазмасындағы доғалық электрон ағынын пайдалану арқылы магнетронды шашыратқыш жабынның сапасын жақсартуда оң рөл атқарады.
Жіберу уақыты: 21 маусым-2023 ж