למעשה, טכנולוגיית שיקוע בסיוע קרן יונים היא טכנולוגיה מרוכבת. זוהי טכניקת טיפול ביונים מרוכבים על פני השטח המשלבת השתלת יונים וטכנולוגיית סרט שיקוע אדים פיזיקלי, וסוג חדש של טכניקת אופטימיזציה של פני השטח של קרן יונים. בנוסף ליתרונות של שיקוע אדים פיזיקלי, טכניקה זו יכולה לגדל באופן רציף כל סרט בעובי תחת תנאי בקרה מחמירים יותר, לשפר את הגבישיות והכיוון של שכבת הסרט באופן משמעותי יותר, להגדיל את חוזק ההידבקות של שכבת הסרט/מצע, לשפר את צפיפות שכבת הסרט ולסנתז סרטים מורכבים עם יחסים סטוכיומטריים אידיאליים בטמפרטורת החדר הקרובה, כולל סוגים חדשים של סרטים שלא ניתן להשיג בטמפרטורת החדר ובלחץ החדר. שיקוע בסיוע קרן יונים לא רק שומר על היתרונות של תהליך השתלת יונים, אלא גם יכול לכסות את המצע בסרט שונה לחלוטין מהמצע.
בכל סוגי שקיעת אדים פיזיקלית ושקיעת אדים כימית, ניתן להוסיף סט של תותחי יונים להפצצה עזר כדי ליצור מערכת IBAD, וישנם שני תהליכי IBAD כלליים כדלקמן, כפי שמוצג בתמונה:
כפי שמוצג בתמונה (א), מקור אידוי של קרן אלקטרונים משמש להקרנת שכבת הסרט באמצעות קרן היונים הנפלטת מתותח היונים, ובכך לממש שיקוע בסיוע קרן יונים. היתרון הוא שניתן לכוונן את אנרגיית וכיוון קרן היונים, אך ניתן להשתמש רק בסגסוגת או תרכובת אחת או מוגבלת כמקור אידוי, ולחץ האדים של כל רכיב הסגסוגת והתרכובת שונה, מה שמקשה על קבלת שכבת הסרט של הרכב מקור האידוי המקורי.
תמונה (ב) מציגה שיקוע בסיוע התזה באמצעות קרן יונים, המכונה גם שיקוע התזה באמצעות קרן יונים כפולה, שבו המטרה עשויה מחומר ציפוי התזה באמצעות קרן יונים, ומוצרי ההתזה משמשים כמקור. בעת השיקוע על המצע, השיקוע בסיוע התזה באמצעות קרן יונים מושג על ידי הקרנה עם מקור יונים נוסף. היתרון של שיטה זו הוא שלחלקיקים המותזים עצמם יש אנרגיה מסוימת, כך שיש הידבקות טובה יותר עם המצע; כל רכיב של המטרה יכול להיות ציפוי בהתזה, אך ניתן גם להשליך אותו לתוך הסרט באמצעות התזה ריאקטיבית, קל להתאים את הרכב הסרט, אך יעילות השיקוע נמוכה, המטרה יקרה וישנן בעיות כמו התזה סלקטיבית.
זמן פרסום: 8 בנובמבר 2022