מאפיינים טכניים של ציפוי אידוי ואקום

1. ה-ציפוי אידוי ואקוםהתהליך כולל אידוי של חומרי סרט, הובלת אטומי אדים בוואקום גבוה, ותהליך ההתגרענות והצמיחה של אטומי אדים על פני חומר העבודה.

2. דרגת הוואקום של ציפוי אידוי ואקום גבוהה, בדרך כלל 10-510^-3מסלולן החופשי של מולקולות הגז הוא בסדר גודל של 1~10 מ', שהוא גדול בהרבה מהמרחק ממקור האידוי לחומר העבודה. מרחק זה נקרא מרחק אידוי, בדרך כלל 300~800 מ"מ. חלקיקי הציפוי כמעט ולא מתנגשים במולקולות גז ובאטומי אדים ומגיעים לחומר העבודה.

3. שכבת ציפוי האידוי בוואקום אינה מצופה מלופף, ואטומי האדים עוברים ישירות לחומר העבודה תחת ואקום גבוה. רק הצד הפונה למקור האידוי על חומר העבודה יכול לקבל את שכבת הסרט, והצד והגב של חומר העבודה בקושי יכולים לקבל את שכבת הסרט, והציפוי של שכבת הסרט לקוי.

4. האנרגיה של החלקיקים בשכבת ציפוי האידוי בוואקום נמוכה, והאנרגיה המגיעה לחומר העבודה היא אנרגיית החום הנישאת על ידי האידוי. מכיוון שחומר העבודה אינו מוטה במהלך ציפוי אידוי בוואקום, אטומי המתכת מסתמכים רק על חום האידוי במהלך האידוי, טמפרטורת האידוי היא 1000~2000 מעלות צלזיוס, והאנרגיה הנישאת שווה ערך ל-0.1~0.2eV, כך שהאנרגיה של חלקיקי הסרט נמוכה, כוח ההדבקה בין שכבת הסרט למטריצה ​​קטן, וקשה ליצור ציפוי מורכב.

5. לשכבת ציפוי האידוי בוואקום יש מבנה עדין. תהליך ציפוי האידוי בוואקום נוצר תחת ואקום גבוה, וחלקיקי הסרט באדים הם בעצם בקנה מידה אטומי, ויוצרים ליבה דקה על פני השטח של חומר העבודה.