1) I target cilindrici hanno un tasso di utilizzo più elevato rispetto ai target planari. Nel processo di rivestimento, che si tratti di un target di sputtering cilindrico di tipo magnetico rotante o di un target di sputtering cilindrico a tubo rotante, tutte le parti della superficie del tubo target attraversano continuamente l'area di sputtering generata davanti al magnete permanente per ricevere lo sputtering catodico. Il target può essere inciso e sputterato in modo uniforme e il tasso di utilizzo del target è elevato. Il tasso di utilizzo dei materiali target è di circa l'80%~90%.
2) I bersagli cilindrici non sono soggetti a "avvelenamento del bersaglio". Durante il processo di rivestimento, la superficie del tubo bersaglio viene costantemente spruzzata e incisa dagli ioni, e non è facile che si accumuli ossidi spessi e altri film isolanti sulla superficie, con conseguente rischio di "avvelenamento del bersaglio".
3) La struttura del bersaglio cilindrico per sputtering a tubo rotante è semplice e facile da installare.
4) Il materiale del tubo bersaglio cilindrico è di vario tipo. Il bersaglio planare con il bersaglio metallico è raffreddato ad acqua diretta, mentre alcuni non possono essere lavorati e formati con bersagli cilindrici, come il bersaglio In₂-SnO₂, ecc. Il materiale in polvere per la pressatura isostatica a caldo consente di ottenere bersagli a forma di piastra, poiché le dimensioni non possono essere grandi e sono fragili, quindi è necessario utilizzare il metodo di brasatura e una piastra posteriore in rame per l'integrazione e la successiva installazione sulla base del bersaglio. Oltre ai tubi metallici, i bersagli colonnari possono anche essere spruzzati sulla superficie di tubi in acciaio inossidabile con vari materiali che necessitano di rivestimento, come Si, Cr, ecc.
Attualmente, la percentuale di target cilindrici per il rivestimento nella produzione industriale è in aumento. I target cilindrici non vengono utilizzati solo per le macchine di rivestimento verticali, ma anche per le macchine di rivestimento roll-to-roll. Negli ultimi anni, i target gemelli planari sono stati gradualmente sostituiti dai target gemelli cilindrici.
——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, unproduttore di macchine per rivestimenti ottici.
Data di pubblicazione: 11 maggio 2023